作者andrewkuo ()
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標題[新聞] 三星電子批量生産極紫外光刻工藝14納米DR
時間Thu Oct 14 19:55:14 2021
原文標題：
三星電子批量生産極紫外光刻工藝14納米DRAM
原文連結：
https://www.donga.com/tw/List/article/all/20211013/2980141/1
發布時間：
Posted October. 13, 2021 07:15 Updated October. 13, 2021 07:15
原文內容：
三星電子12日表示，通過能夠更加細致地體現半導體電路的極紫外光刻(EUV)工藝，開始
批量生産“14納米DRAM芯片”
EUV工藝的優點是光波比現有的ArF光刻工藝要更短。這是體現細致的半導體電路模式時使
用的技術。三星電子的目標是以新工藝爲基礎，引領新一代DRAM市場。
當天，三星電子解釋說，在批量生産14納米(1納米是10億分之1米)DRAM的過程中，采用
EUV光刻技術提高了DRAM的性能和産量。將EUV工藝應用于5個層(電路層)，實現了最先進
的14納米DRAM。在DRAM制造過程中，在多個電路層適用EUV工藝的所謂“多層(Multi-
layer)”技術在世界上只有三星電子擁有。
據三星電子透露，采用多層EUV工藝的14納米DRAM晶體集成度達到業界最高水平，生産
效率比上一代提高了20%。功耗也比之前的工藝降低了20%左右。三星電子將此次新工藝最
先應用于新一代內存DDR5 DRAM。DDR5是新一代DRAM的規格，最高速度爲7. 2Gbps(每秒千
兆字節)，這是DDR4速度(3.2Gbps)的2倍多。高性能DDR5主要用于數據中心、超級計算機
、企業服務器市場等。
三星電子爲適應高容量數據市場的需求，計劃通過此次工藝批量生産單一芯片最大容量
24Gb(千兆比特)DRAM。三星電子方面解釋說：“我們的戰略是，以業界最先進的14納米工
藝和高成熟度的EUV工藝技術爲基礎，體現高性能和穩定的收率，引領DDR5 DRAM的大衆化
。”
林賢錫
[email protected]
心得/評論： ※必需填寫滿20字
三星這下用14奈米生產DRAM,會不會又供過於求,導致DRAM價格下降呀!畢竟三星
是市場的領導者.
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1F：推 apolloapollo: 手刻 10/14 19:58
2F：推 whynot0629: 這是ddr5好嗎 10/14 19:59
3F：推 E34041189: 記憶體整天供過於求 大家還一直擴產 10/14 20:02
4F：推 losage: 三星用dram來護航半導體代工，有點無言 10/14 20:05
5F：推 changmary: 三星14nm用EUV 美光台灣14nm用DUV 10/14 20:08
6F：→ Shepherd1987: EUV又貴又慢… 不懂14nm為啥要用.. 10/14 20:10
7F：→ twinmick: 有錢就是任性.. 10/14 20:11
8F：噓 neksa602: 現在都改叫光刻了嗎 10/14 20:11
9F：推 k19920330: 樓上省好幾層…減去很多process 換算成本是划算的 也因 10/14 20:12
10F：→ k19920330: 為他慢加上常當 需要用多機台攻勢 10/14 20:12
11F：→ cyshowen: EUV練功總要攤平 10/14 20:21
12F：推 ajkofqq: 手刻的ok 10/14 20:24
13F：推 suliwen76: 好 南亞科 華邦電崩崩 10/14 20:25
14F：→ transfight: QQ真猛！！美光都沒用！！ 10/14 20:27
15F：推 fat980: 晶豪科？？？？？ 10/14 20:33
16F：推 aegis43210: 這真的很強，用EUV畫出來的圖案很精準，就不用像DUV一 10/14 20:43
17F：→ aegis43210: 樣那麼多工序 10/14 20:43
18F：→ aegis43210: 三星是DDR5領導者，你能買到便宜又好的記憶體要靠三星 10/14 20:44
19F：噓 Totti: 是代工產能過剩，EUV買太多吧 10/14 20:54
20F：推 mainsa: 美光有要用啊 目前已經買到機台了 說預計2024投入使用 10/14 20:56
21F：噓 TISH12311: ㄏㄏ這兒GG看不到人家的尾燈 10/14 21:06
22F：推 jay3u7218: 美光六月就生產了 三星現在才有？ 10/14 21:20
23F：推 jay3u7218: 而且對三星雪上加霜的是 三星這條產能設在台灣 10/14 21:22
24F：→ jay3u7218: 廠房已經在蓋了...而且美光後面有美光 三星慘 10/14 21:23
25F：→ jay3u7218: 美光後面有美國撐腰 10/14 21:23
26F：推 stosto: 美光也要買euv阿 10/14 21:30
27F：推 democrat: EUV是趨勢啦，先從14奈米導入練功啊，記憶體瓶頸未來五 10/14 21:33
28F：→ democrat: 年會更明顯，反倒是處理器還好 10/14 21:33
29F：噓 pf775: 三星又要倒閉了嗎 10/14 21:43
30F：推 kenndy: DDR5強者無誤，至於外資一直倒貨，就是另一個故事了！ 10/14 21:44
31F：推 saygogo: 曝光機不用跑去用光科技這個名詞,被中國用語同化的記者 10/14 21:50
32F：→ saygogo: 們 10/14 21:50
33F：→ wheateardoll: 14用EUV只可能代表更小的製程沒單 10/14 22:12
34F：噓 winner0429: 拿EUV做14nm 笑死 10/14 22:20
35F：推 madeinheaven: 美光根本看不到三星車尾燈 10/14 22:27
36F：→ kuma660224: 不是吧 美光最早量產第4代1a級DRAM 10/14 22:47
37F：→ kuma660224: 其實很讓三星與韓媒震驚 10/14 22:47
38F：→ kuma660224: 而且美國的1a不需月EUV就能做到 10/14 22:48
39F：→ kuma660224: 成本上也是很讓業界震驚 10/14 22:48
40F：→ kuma660224: 海力士三星都要EUV才能做到1a 10/14 22:49
41F：→ kuma660224: 不是因為厲害 是只能靠設備砸成本去加速 10/14 22:49
42F：→ kuma660224: 做出來成本太高了 10/14 22:50
43F：→ kuma660224: DRAM顆粒畢竟價格比處理器低太多 10/14 22:50
44F：→ kuma660224: 能不用或少用EUV就微縮換代才是厲害 10/14 22:51
45F：→ kuma660224: 美光活用台灣的肝力以後 有如神助 10/14 22:52
46F：推 madeinheaven: 美光只說1α工藝 並沒有說是14NM 10/14 22:56
47F：推 madeinheaven: 因為三星知道其他家公司根本就不敢說是幾NM 10/14 23:06
48F：噓 ninggo: 垃圾忘紅跟垃圾滑崩店表示：啊 去了 10/14 23:06
49F：推 jameswang278: 不要再自我安慰好嗎？連三星車尾燈都看不到難怪股價 10/14 23:07
50F：→ jameswang278: 一直烙賽 10/14 23:07
51F：推 asdfg4862: 美光又打不過三星 算了吧 吃人家剩菜而已 10/14 23:18
52F：推 abcjoe61115: 支持中國高品質純手刻DDR5記憶體 10/15 01:19
53F：噓 ericjaing: 三星批量生産彩虹紫外星死光手刻工藝14nmDDD~RAM china 10/15 01:49
54F：噓 Arleis: 工藝 10/15 08:11
55F：推 saygogo: 美光進步很多了啦 已經不是當年那個讓三星看雖小的 10/15 09:15
56F：噓 liuhan: 良率? 10/15 11:03