作者andrewkuo ()
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标题[新闻] 三星电子批量生産极紫外光刻工艺14纳米DR
时间Thu Oct 14 19:55:14 2021
原文标题：
三星电子批量生産极紫外光刻工艺14纳米DRAM
原文连结：
https://www.donga.com/tw/List/article/all/20211013/2980141/1
发布时间：
Posted October. 13, 2021 07:15 Updated October. 13, 2021 07:15
原文内容：
三星电子12日表示，通过能够更加细致地体现半导体电路的极紫外光刻(EUV)工艺，开始
批量生産“14纳米DRAM芯片”
EUV工艺的优点是光波比现有的ArF光刻工艺要更短。这是体现细致的半导体电路模式时使
用的技术。三星电子的目标是以新工艺爲基础，引领新一代DRAM市场。
当天，三星电子解释说，在批量生産14纳米(1纳米是10亿分之1米)DRAM的过程中，采用
EUV光刻技术提高了DRAM的性能和産量。将EUV工艺应用于5个层(电路层)，实现了最先进
的14纳米DRAM。在DRAM制造过程中，在多个电路层适用EUV工艺的所谓“多层(Multi-
layer)”技术在世界上只有三星电子拥有。
据三星电子透露，采用多层EUV工艺的14纳米DRAM晶体集成度达到业界最高水平，生産
效率比上一代提高了20%。功耗也比之前的工艺降低了20%左右。三星电子将此次新工艺最
先应用于新一代内存DDR5 DRAM。DDR5是新一代DRAM的规格，最高速度爲7. 2Gbps(每秒千
兆字节)，这是DDR4速度(3.2Gbps)的2倍多。高性能DDR5主要用于数据中心、超级计算机
、企业服务器市场等。
三星电子爲适应高容量数据市场的需求，计划通过此次工艺批量生産单一芯片最大容量
24Gb(千兆比特)DRAM。三星电子方面解释说：“我们的战略是，以业界最先进的14纳米工
艺和高成熟度的EUV工艺技术爲基础，体现高性能和稳定的收率，引领DDR5 DRAM的大衆化
。”
林贤锡
[email protected]
心得/评论： ※必需填写满20字
三星这下用14奈米生产DRAM,会不会又供过於求,导致DRAM价格下降呀!毕竟三星
是市场的领导者.
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1F：推 apolloapollo: 手刻 10/14 19:58
2F：推 whynot0629: 这是ddr5好吗 10/14 19:59
3F：推 E34041189: 记忆体整天供过於求 大家还一直扩产 10/14 20:02
4F：推 losage: 三星用dram来护航半导体代工，有点无言 10/14 20:05
5F：推 changmary: 三星14nm用EUV 美光台湾14nm用DUV 10/14 20:08
6F：→ Shepherd1987: EUV又贵又慢… 不懂14nm为啥要用.. 10/14 20:10
7F：→ twinmick: 有钱就是任性.. 10/14 20:11
8F：嘘 neksa602: 现在都改叫光刻了吗 10/14 20:11
9F：推 k19920330: 楼上省好几层…减去很多process 换算成本是划算的 也因 10/14 20:12
10F：→ k19920330: 为他慢加上常当 需要用多机台攻势 10/14 20:12
11F：→ cyshowen: EUV练功总要摊平 10/14 20:21
12F：推 ajkofqq: 手刻的ok 10/14 20:24
13F：推 suliwen76: 好 南亚科 华邦电崩崩 10/14 20:25
14F：→ transfight: QQ真猛！！美光都没用！！ 10/14 20:27
15F：推 fat980: 晶豪科？？？？？ 10/14 20:33
16F：推 aegis43210: 这真的很强，用EUV画出来的图案很精准，就不用像DUV一 10/14 20:43
17F：→ aegis43210: 样那麽多工序 10/14 20:43
18F：→ aegis43210: 三星是DDR5领导者，你能买到便宜又好的记忆体要靠三星 10/14 20:44
19F：嘘 Totti: 是代工产能过剩，EUV买太多吧 10/14 20:54
20F：推 mainsa: 美光有要用啊 目前已经买到机台了 说预计2024投入使用 10/14 20:56
21F：嘘 TISH12311: ㄏㄏ这儿GG看不到人家的尾灯 10/14 21:06
22F：推 jay3u7218: 美光六月就生产了 三星现在才有？ 10/14 21:20
23F：推 jay3u7218: 而且对三星雪上加霜的是 三星这条产能设在台湾 10/14 21:22
24F：→ jay3u7218: 厂房已经在盖了...而且美光後面有美光 三星惨 10/14 21:23
25F：→ jay3u7218: 美光後面有美国撑腰 10/14 21:23
26F：推 stosto: 美光也要买euv阿 10/14 21:30
27F：推 democrat: EUV是趋势啦，先从14奈米导入练功啊，记忆体瓶颈未来五 10/14 21:33
28F：→ democrat: 年会更明显，反倒是处理器还好 10/14 21:33
29F：嘘 pf775: 三星又要倒闭了吗 10/14 21:43
30F：推 kenndy: DDR5强者无误，至於外资一直倒货，就是另一个故事了！ 10/14 21:44
31F：推 saygogo: 曝光机不用跑去用光科技这个名词,被中国用语同化的记者 10/14 21:50
32F：→ saygogo: 们 10/14 21:50
33F：→ wheateardoll: 14用EUV只可能代表更小的制程没单 10/14 22:12
34F：嘘 winner0429: 拿EUV做14nm 笑死 10/14 22:20
35F：推 madeinheaven: 美光根本看不到三星车尾灯 10/14 22:27
36F：→ kuma660224: 不是吧 美光最早量产第4代1a级DRAM 10/14 22:47
37F：→ kuma660224: 其实很让三星与韩媒震惊 10/14 22:47
38F：→ kuma660224: 而且美国的1a不需月EUV就能做到 10/14 22:48
39F：→ kuma660224: 成本上也是很让业界震惊 10/14 22:48
40F：→ kuma660224: 海力士三星都要EUV才能做到1a 10/14 22:49
41F：→ kuma660224: 不是因为厉害 是只能靠设备砸成本去加速 10/14 22:49
42F：→ kuma660224: 做出来成本太高了 10/14 22:50
43F：→ kuma660224: DRAM颗粒毕竟价格比处理器低太多 10/14 22:50
44F：→ kuma660224: 能不用或少用EUV就微缩换代才是厉害 10/14 22:51
45F：→ kuma660224: 美光活用台湾的肝力以後 有如神助 10/14 22:52
46F：推 madeinheaven: 美光只说1α工艺 并没有说是14NM 10/14 22:56
47F：推 madeinheaven: 因为三星知道其他家公司根本就不敢说是几NM 10/14 23:06
48F：嘘 ninggo: 垃圾忘红跟垃圾滑崩店表示：啊 去了 10/14 23:06
49F：推 jameswang278: 不要再自我安慰好吗？连三星车尾灯都看不到难怪股价 10/14 23:07
50F：→ jameswang278: 一直烙赛 10/14 23:07
51F：推 asdfg4862: 美光又打不过三星 算了吧 吃人家剩菜而已 10/14 23:18
52F：推 abcjoe61115: 支持中国高品质纯手刻DDR5记忆体 10/15 01:19
53F：嘘 ericjaing: 三星批量生産彩虹紫外星死光手刻工艺14nmDDD~RAM china 10/15 01:49
54F：嘘 Arleis: 工艺 10/15 08:11
55F：推 saygogo: 美光进步很多了啦 已经不是当年那个让三星看虽小的 10/15 09:15
56F：嘘 liuhan: 良率? 10/15 11:03