作者charlieab (查理AB)
看板Physics
標題[問題] 跪求幫忙下載paper
時間Tue Dec 5 23:21:02 2017
跪求好心的版友幫忙抓paper
研究需要，但實在無法下載
連結：
http://iopscience.iop.org/article/10.1088/0268-1242/22/6/016
標題：
Effects of BCl3 gas on physical damage and Al residues in oxide hard-mask-base
d Al etching
作者：
H J Lee, C H Lee, N T Lian, M C Deng, T H Yang, K C Chen and C Y Lu
拜託各位了真的非常感謝Q__Q
煩請能夠下載的版友幫忙寄至
[email protected]
感激不盡
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 61.228.244.68
※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/Physics/M.1512487268.A.E23.html
1F：→ sputtering: 到學校去下載吧 這是要花錢的 12/06 06:45
2F：→ charlieab: 已徵到了謝謝 12/06 10:44
3F：推 Melody818: Sci-hub很好用 12/06 11:37
4F：→ charlieab: 好的 謝謝你 12/06 11:51
5F：推 lkkgotyy: Sci-hub是不是掛了呀 12/08 01:55