作者charlieab (查理AB)
看板Physics
标题[问题] 跪求帮忙下载paper
时间Tue Dec 5 23:21:02 2017
跪求好心的版友帮忙抓paper
研究需要，但实在无法下载
连结：
http://iopscience.iop.org/article/10.1088/0268-1242/22/6/016
标题：
Effects of BCl3 gas on physical damage and Al residues in oxide hard-mask-base
d Al etching
作者：
H J Lee, C H Lee, N T Lian, M C Deng, T H Yang, K C Chen and C Y Lu
拜托各位了真的非常感谢Q__Q
烦请能够下载的版友帮忙寄至
[email protected]
感激不尽
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 61.228.244.68
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/Physics/M.1512487268.A.E23.html
1F：→ sputtering: 到学校去下载吧 这是要花钱的 12/06 06:45
2F：→ charlieab: 已徵到了谢谢 12/06 10:44
3F：推 Melody818: Sci-hub很好用 12/06 11:37
4F：→ charlieab: 好的 谢谢你 12/06 11:51
5F：推 lkkgotyy: Sci-hub是不是挂了呀 12/08 01:55