作者wifi (wifi)
看板Physics
標題[問題] hydrogen ettching 氫蝕刻
時間Wed Aug 17 10:41:46 2011
最近在看關於處理SiC的論文
其中能讓表面平整的方法是使用所謂的hydrogen etching
但關於這個技術的原理 我一直查不到
希望知道的人能告訴我這個答案
感激不盡
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◆ From: 122.117.88.13
1F：推 waddler:化學蝕刻原理就是化學反應 你的例子應該是靠氫跟Si/C反應 08/18 16:41