作者wifi (wifi)
看板Physics
标题[问题] hydrogen ettching 氢蚀刻
时间Wed Aug 17 10:41:46 2011
最近在看关於处理SiC的论文
其中能让表面平整的方法是使用所谓的hydrogen etching
但关於这个技术的原理 我一直查不到
希望知道的人能告诉我这个答案
感激不尽
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◆ From: 122.117.88.13
1F：推 waddler:化学蚀刻原理就是化学反应 你的例子应该是靠氢跟Si/C反应 08/18 16:41