最近有寫的東西有部分可以粗估測量薄膜厚度實驗方法， 是使用不用破壞樣品的X-ray掃描方式， 算是利用擦角繞射方式去求得， 其簡單原理是讓x-ray從小角度掃到大角度， 使X-ray在全反射角度和薄膜厚度間作繞射， 然後其繞射出來震盪的週期就代表厚度， 越厚就週期越密，而強度衰減的速度代表樣品本身的粗糙度， 樣品越粗糙，散射就越嚴重，所以強度會下降的越快， 掃完的圖fit經過換算就可以得到要的數據了。 圖片如 http://physics.nist.gov/TechAct.Archive/TechAct.98/Div842/Images/fig5.gif 至於更詳細的數學方面 就去查一下X-ray的書就有了 ※ 引述《wind1025 (wind1025)》之銘言： : 大家好!前幾天做了實驗 : "高真空鍍膜機" : 在真空條件下通過加熱蒸發源,將待蒸發的熱穩性化合物加熱至高溫, : 使之揮發成蒸氣霧而噴敷在式樣表面,因而達到蒸鍍的目的! : 在載玻片上蒸鍍了鋁 : 實驗有一個問題就是要列舉與說明測量蒸鍍薄膜厚度的方法? : 我在想會不會可以用蒸鍍材料的重量和待鍍物的表面積占腔體橫切面積的比例 : 來求得? : 還是我根本就想錯了!需要以儀器測量? : 感謝回答! -- http://www.wretch.cc/blog/CashAndMary --

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