最近有写的东西有部分可以粗估测量薄膜厚度实验方法， 是使用不用破坏样品的X-ray扫描方式， 算是利用擦角绕射方式去求得， 其简单原理是让x-ray从小角度扫到大角度， 使X-ray在全反射角度和薄膜厚度间作绕射， 然後其绕射出来震荡的周期就代表厚度， 越厚就周期越密，而强度衰减的速度代表样品本身的粗糙度， 样品越粗糙，散射就越严重，所以强度会下降的越快， 扫完的图fit经过换算就可以得到要的数据了。 图片如 http://physics.nist.gov/TechAct.Archive/TechAct.98/Div842/Images/fig5.gif 至於更详细的数学方面 就去查一下X-ray的书就有了 ※ 引述《wind1025 (wind1025)》之铭言： : 大家好!前几天做了实验 : "高真空镀膜机" : 在真空条件下通过加热蒸发源,将待蒸发的热稳性化合物加热至高温, : 使之挥发成蒸气雾而喷敷在式样表面,因而达到蒸镀的目的! : 在载玻片上蒸镀了铝 : 实验有一个问题就是要列举与说明测量蒸镀薄膜厚度的方法? : 我在想会不会可以用蒸镀材料的重量和待镀物的表面积占腔体横切面积的比例 : 来求得? : 还是我根本就想错了!需要以仪器测量? : 感谢回答! -- http://www.wretch.cc/blog/CashAndMary --

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