作者MSEstar (材料之星)
看板Physics
標題[問題] PECVD製做DLC
時間Thu Jan 6 23:55:07 2011
利用PECVD(電漿增強CVD)
再加上表面改質成CN的DLC(類鑽碳膜)
會產生脆性嗎?... WHY??
CVD在silicon wafer上...
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