作者MSEstar (材料之星)
看板Physics
标题[问题] PECVD制做DLC
时间Thu Jan 6 23:55:07 2011
利用PECVD(电浆增强CVD)
再加上表面改质成CN的DLC(类钻碳膜)
会产生脆性吗?... WHY??
CVD在silicon wafer上...
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