作者carman (距離的美感)
看板Physics
標題[問題]雷射鏡面鍍膜的問題
時間Tue Aug 4 00:38:33 2009
為了降低邊射型雷射鏡面的損耗
以便讓短cavity length的雷射能lasing
希望能量到較高的f3dB的頻寬增益
老師希望我將半導體雷射的鏡面鍍膜
我選的材料是MgF2和ZnSe..經由計算共鍍了6對12層
每片雷射晶片的長度約1cm 寬度約500um,厚度約100 um
方式是在玻璃上貼真空膠帶 然後把雷射晶片立起來
然後放在e-gun鍍膜,
不過因為雷射的寬度太窄..鍍完後我雖然雷射側面(鏡面)順利鍍膜了
但正面也鍍到介電質
所以我用GSG probe量時..常常無法順利contact到我的device
沒法順利量測
想請有經驗的朋友指導,你們是如何鍍雷射的鏡面呢?
謝謝!!
--
不再想,不再愛,不再懂,不再繼續
心就像漏水的房間而自己太多的重疊反而模糊
失去的不必再追回,那個刻意塵封的記憶從此沒有遺憾
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 141.211.4.18
※ 編輯: carman 來自: 68.62.17.115 (08/04 00:39)
1F：推 Mariness:磨掉? 08/04 10:31
2F：→ carman:磨掉不就連上頭的金屬pattern都磨掉了嗎?且樣品那麼薄和小 08/04 15:28
3F：→ carman:要磨似乎也很難處理..... 08/04 15:29
4F：→ yeahbo:用ICP/RIE挖洞？ 想辦法一開始就不要鍍到吧... 08/04 16:30
5F：推 Keelungman:也許你的狀況可以用微影蝕刻來解決? 08/04 23:59
6F：→ carman:一開始不鍍到是最理想的,不過不知道該如何,我這的RIE用之前 08/06 02:05
7F：→ carman:要用PFPE load在Si wafer 上,但sample才100um厚,放pfpe時 08/06 02:08
8F：→ carman:怕鏡面會沾到.... 08/06 02:09