作者carman (距离的美感)
看板Physics
标题[问题]雷射镜面镀膜的问题
时间Tue Aug 4 00:38:33 2009
为了降低边射型雷射镜面的损耗
以便让短cavity length的雷射能lasing
希望能量到较高的f3dB的频宽增益
老师希望我将半导体雷射的镜面镀膜
我选的材料是MgF2和ZnSe..经由计算共镀了6对12层
每片雷射晶片的长度约1cm 宽度约500um,厚度约100 um
方式是在玻璃上贴真空胶带 然後把雷射晶片立起来
然後放在e-gun镀膜,
不过因为雷射的宽度太窄..镀完後我虽然雷射侧面(镜面)顺利镀膜了
但正面也镀到介电质
所以我用GSG probe量时..常常无法顺利contact到我的device
没法顺利量测
想请有经验的朋友指导,你们是如何镀雷射的镜面呢?
谢谢!!
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不再想,不再爱,不再懂,不再继续
心就像漏水的房间而自己太多的重叠反而模糊
失去的不必再追回,那个刻意尘封的记忆从此没有遗憾
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 141.211.4.18
※ 编辑: carman 来自: 68.62.17.115 (08/04 00:39)
1F：推 Mariness:磨掉? 08/04 10:31
2F：→ carman:磨掉不就连上头的金属pattern都磨掉了吗?且样品那麽薄和小 08/04 15:28
3F：→ carman:要磨似乎也很难处理..... 08/04 15:29
4F：→ yeahbo:用ICP/RIE挖洞？ 想办法一开始就不要镀到吧... 08/04 16:30
5F：推 Keelungman:也许你的状况可以用微影蚀刻来解决? 08/04 23:59
6F：→ carman:一开始不镀到是最理想的,不过不知道该如何,我这的RIE用之前 08/06 02:05
7F：→ carman:要用PFPE load在Si wafer 上,但sample才100um厚,放pfpe时 08/06 02:08
8F：→ carman:怕镜面会沾到.... 08/06 02:09