作者keneth (奈米材料人)
看板Physics
標題Re: [問題] 想請問一個關於SEM的問題
時間Sun Aug 2 19:11:17 2009
你把SEM的成像原理跟TEM搞錯了，TEM才是繞射成像的
而且TEM的加速電壓，通常是幾百KV以上的繞射
但是SEM通常只是幾十KV的電子束，在打材料極表面
接收的是表面的二次電子跟背向散射電子當訊號
而且二次電子的能量都很低才幾十ev而以
不過最主要因該不是二次電子能量低的關析
因該是入射的電子束只能在材料幾nm區域的
厚度打出二次電子的關析
※ 引述《bbwpj (bbwpj)》之銘言：
: 通常SEM加速電壓可以讓電子物質波達到埃等級
: 可是我學長跟我說只能看到nm等級的表面結構
: SEM並沒有辦法可以看到埃等級的結構
: 我搞不懂為什麼耶@@
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時間很快~
只有光速追得回
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◆ From: 118.169.98.144
1F：→ bbwpj:在nm等級的厚度打出電子 所以看到的影像只能是nm等級的? 08/02 20:34
2F：→ yeahbo:應該是因為若是加速電壓太大，電子穿透深度會太深，得到的 08/02 23:37
3F：→ yeahbo:影像就不再是樣品表面形貌；而加速電壓不夠小的話，又會有 08/02 23:38
4F：→ yeahbo:繞射極限的問題，沒辦法把電子束聚焦到很小，所以SEM的解析 08/02 23:39
5F：→ yeahbo:度因此受限... 08/02 23:39
6F：→ bbwpj:嗯嗯 謝謝 大概了解了 08/03 00:10