作者keneth (奈米材料人)
看板Physics
标题Re: [问题] 想请问一个关於SEM的问题
时间Sun Aug 2 19:11:17 2009
你把SEM的成像原理跟TEM搞错了，TEM才是绕射成像的
而且TEM的加速电压，通常是几百KV以上的绕射
但是SEM通常只是几十KV的电子束，在打材料极表面
接收的是表面的二次电子跟背向散射电子当讯号
而且二次电子的能量都很低才几十ev而以
不过最主要因该不是二次电子能量低的关析
因该是入射的电子束只能在材料几nm区域的
厚度打出二次电子的关析
※ 引述《bbwpj (bbwpj)》之铭言：
: 通常SEM加速电压可以让电子物质波达到埃等级
: 可是我学长跟我说只能看到nm等级的表面结构
: SEM并没有办法可以看到埃等级的结构
: 我搞不懂为什麽耶@@
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时间很快~
只有光速追得回
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◆ From: 118.169.98.144
1F：→ bbwpj:在nm等级的厚度打出电子 所以看到的影像只能是nm等级的? 08/02 20:34
2F：→ yeahbo:应该是因为若是加速电压太大，电子穿透深度会太深，得到的 08/02 23:37
3F：→ yeahbo:影像就不再是样品表面形貌；而加速电压不够小的话，又会有 08/02 23:38
4F：→ yeahbo:绕射极限的问题，没办法把电子束聚焦到很小，所以SEM的解析 08/02 23:39
5F：→ yeahbo:度因此受限... 08/02 23:39
6F：→ bbwpj:嗯嗯 谢谢 大概了解了 08/03 00:10