作者jovibon ( Ｏ ＹＡ)
站內Physics
標題PMMA 當 etching mask
時間Wed Feb 18 22:47:50 2009
※ [本文轉錄自 Chemistry 看板]
作者: jovibon ( Ｏ ＹＡ) 站內: Chemistry
標題: PMMA 當 etching mask
時間: Wed Feb 18 22:47:37 2009
大家好
我想把PMMA spin在Si上
然後以PMMA 當 etching mask 去向下時刻矽
請問這各有方法辦到嗎
謝謝喔
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1F：推 gogogoclark:你可以去機電板問問看! 02/19 15:42