作者jovibon ( Ｏ ＹＡ)
站内Physics
标题PMMA 当 etching mask
时间Wed Feb 18 22:47:50 2009
※ [本文转录自 Chemistry 看板]
作者: jovibon ( Ｏ ＹＡ) 站内: Chemistry
标题: PMMA 当 etching mask
时间: Wed Feb 18 22:47:37 2009
大家好
我想把PMMA spin在Si上
然後以PMMA 当 etching mask 去向下时刻矽
请问这各有方法办到吗
谢谢喔
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1F：推 gogogoclark:你可以去机电板问问看! 02/19 15:42