作者jovibon ( Ｏ ＹＡ)
站內Physics
標題[實驗] Si 的等向性蝕刻
時間Thu May 15 23:24:02 2008
※ [本文轉錄自 Chemistry 看板]
作者: jovibon ( Ｏ ＹＡ) 站內: Chemistry
標題: [實驗] Si 的等向性蝕刻
時間: Thu May 15 23:23:46 2008
請問大家一下有什麼溶液可以等向性蝕刻Si呢
拜託各位摟
謝謝阿
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◆ From: 218.166.11.21
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1F：→ serg:等向通常用濕蝕刻，但不知道etching Si的，倒是知道SiO, SiN 05/15 23:38
2F：→ jovibon:可以說一下SiN的嗎 以及配方比例 謝謝喔 05/15 23:44
3F：→ serg:就磷酸 一份SiN需 四份H3PO4 十份H2O 05/16 00:02
4F：→ serg:會產生 Si3O2(OH)8 和 NH3 H3PO4 05/16 00:04
5F：推 savior:請查HNA 或silicon bulk micromachining相關資料 05/18 15:04