作者jovibon ( Ｏ ＹＡ)
站内Physics
标题[实验] Si 的等向性蚀刻
时间Thu May 15 23:24:02 2008
※ [本文转录自 Chemistry 看板]
作者: jovibon ( Ｏ ＹＡ) 站内: Chemistry
标题: [实验] Si 的等向性蚀刻
时间: Thu May 15 23:23:46 2008
请问大家一下有什麽溶液可以等向性蚀刻Si呢
拜托各位搂
谢谢阿
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◆ From: 218.166.11.21
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◆ From: 218.166.11.21
1F：→ serg:等向通常用湿蚀刻，但不知道etching Si的，倒是知道SiO, SiN 05/15 23:38
2F：→ jovibon:可以说一下SiN的吗 以及配方比例 谢谢喔 05/15 23:44
3F：→ serg:就磷酸 一份SiN需 四份H3PO4 十份H2O 05/16 00:02
4F：→ serg:会产生 Si3O2(OH)8 和 NH3 H3PO4 05/16 00:04
5F：推 savior:请查HNA 或silicon bulk micromachining相关资料 05/18 15:04