作者scal (THE YANKEES)
看板Physics
標題光學顯微鏡能看到的最低厚度
時間Thu Aug 30 23:29:23 2007
請問各位大大
若我用一個光學顯微鏡 底下放著一個Si wafer,然後上面有一金屬圖形
若我想要看到這金屬 他的厚度是否有最低限制呢?
比方說 依我經驗 即使厚度只有20nm 我還是看的到這金屬,只要他夠寬
但是請問在更低的厚度 顯微鏡能看到多薄的金屬呢?
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 18.58.7.20
1F：推 Stuber:看起來像是"宜特"在作的工作 08/31 00:34
2F：推 yeahbo:在下看過厚度5nm的金 08/31 08:59
3F：→ wonds:請使用干涉式顯微鏡 08/31 23:52
4F：→ wonds:目前我在做的架構解析10nm的厚度絕對沒問題 08/31 23:53