作者scal (THE YANKEES)
看板Physics
标题光学显微镜能看到的最低厚度
时间Thu Aug 30 23:29:23 2007
请问各位大大
若我用一个光学显微镜 底下放着一个Si wafer,然後上面有一金属图形
若我想要看到这金属 他的厚度是否有最低限制呢?
比方说 依我经验 即使厚度只有20nm 我还是看的到这金属,只要他够宽
但是请问在更低的厚度 显微镜能看到多薄的金属呢?
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 18.58.7.20
1F：推 Stuber:看起来像是"宜特"在作的工作 08/31 00:34
2F：推 yeahbo:在下看过厚度5nm的金 08/31 08:59
3F：→ wonds:请使用干涉式显微镜 08/31 23:52
4F：→ wonds:目前我在做的架构解析10nm的厚度绝对没问题 08/31 23:53