看板Physics
標 題Re: 請問一下蝕刻Ti的方法?
發信站Deep Space Nine (Sun May 27 12:44:29 2007)
轉信站ptt!ctu-reader!news.nctu!ds9
※ 引述《[email protected] (...........)》之銘言：
: 請問有人知道如何把在sapphire基板背面的Ti金屬洗掉
: 不傷害另一面的N-base半導體的方法嗎?
: 請大家幫忙 , 謝謝
最近常搞low tech
不能磨掉或是很小心只讓基版下面碰到solution嗎?
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※ 發信站: 深太空九號(ds9.twbbs.org)
◆ From: 69.244.221.227
1F：→ sweetcaesar:碰SOLUTION的話毛細現象很能克服.... 05/27 13:12
2F：→ sweetcaesar:除非另一面有類似mask的東西防止毛細現象發生... 05/27 13:13
3F：→ sweetcaesar:用磨的難度很高...很容易沿著晶格面破碎.... 05/27 13:16
4F：推 eddietu:你要不要試試先把Ti氧化再蝕刻 05/28 08:01