看板Physics
标 题Re: 请问一下蚀刻Ti的方法?
发信站Deep Space Nine (Sun May 27 12:44:29 2007)
转信站ptt!ctu-reader!news.nctu!ds9
※ 引述《[email protected] (...........)》之铭言：
: 请问有人知道如何把在sapphire基板背面的Ti金属洗掉
: 不伤害另一面的N-base半导体的方法吗?
: 请大家帮忙 , 谢谢
最近常搞low tech
不能磨掉或是很小心只让基版下面碰到solution吗?
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※ 发信站: 深太空九号(ds9.twbbs.org)
◆ From: 69.244.221.227
1F：→ sweetcaesar:碰SOLUTION的话毛细现象很能克服.... 05/27 13:12
2F：→ sweetcaesar:除非另一面有类似mask的东西防止毛细现象发生... 05/27 13:13
3F：→ sweetcaesar:用磨的难度很高...很容易沿着晶格面破碎.... 05/27 13:16
4F：推 eddietu:你要不要试试先把Ti氧化再蚀刻 05/28 08:01