作者zoiptt (DDOO)
看板comm_and_RF
標題[問題] 半導體零組件
時間Wed Mar 4 20:20:07 2015
各位前輩好
最近想瞭解半導體相關產業
想請問heater、 valve、 e chuck、 ESC等等的零組件
作用是甚麼呢?
各用在製程甚麼階段呢?
想請前輩們解答
或是哪裡有相關的資料可以查詢?
謝謝
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