作者zoiptt (DDOO)
看板comm_and_RF
标题[问题] 半导体零组件
时间Wed Mar 4 20:20:07 2015
各位前辈好
最近想了解半导体相关产业
想请问heater、 valve、 e chuck、 ESC等等的零组件
作用是甚麽呢?
各用在制程甚麽阶段呢?
想请前辈们解答
或是哪里有相关的资料可以查询?
谢谢
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