作者zenk9980 (包子)
看板comm_and_RF
標題[請益] 關於晶圓等級和氧化層厚度
時間Wed Apr 23 19:03:38 2014
各位先進們好
小弟想請教一下4吋矽晶圓在購買時業務說有分等級
最高是prime ,最陽春的是test
想請問一下這兩種矽晶圓的差別?因為價差一倍
業務也不知道明確的差在哪裡
另外因為小弟買這Wafer是要做FET元件使用
應該是用prime比較好還是test?
FET的氧化層厚度一般來說鍍多少奈米會比較好呢
(之前的學長是用270nm 的SiO2)?
查了一些文獻也都大概在 300 nm
不過因為沒有做過所以上來請教
不好意思麻煩大家了.謝謝
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