作者qaz790601 (G阿傑G)
看板comm_and_RF
標題[問題] 藍寶石基板清洗問題
時間Sat Apr 12 15:20:33 2014
各位大大您好:
小弟我最近蝕刻藍寶石基板，因為我的Power很大，蝕刻前有上真空油。
上真空油的原因是為了讓藍寶石基板不要燒焦。真空油的牌子是FOMBLIN RT15。
但是蝕刻後Sapphire底部的真空油洗不掉(用ACE、IPA、DI Water清洗流程)
請問各位大大，該如何清洗的乾淨又不會傷害到藍寶石機板上的結構!
例如說:硫酸+雙氧水等等...
謝謝各位~
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1F：→ ccitmdl:........真空油!!你應該會被殺吧!!!! 137.132.22.253 04/12 17:02
2F：推 tcsshisgood:硫酸加雙氧水是業界標準清洗流程220.135.225.127 04/17 20:14
3F：→ tcsshisgood:但非常不建議 個人覺得麻煩又危險220.135.225.127 04/17 20:15