作者qaz790601 (G阿杰G)
看板comm_and_RF
标题[问题] 蓝宝石基板清洗问题
时间Sat Apr 12 15:20:33 2014
各位大大您好:
小弟我最近蚀刻蓝宝石基板，因为我的Power很大，蚀刻前有上真空油。
上真空油的原因是为了让蓝宝石基板不要烧焦。真空油的牌子是FOMBLIN RT15。
但是蚀刻後Sapphire底部的真空油洗不掉(用ACE、IPA、DI Water清洗流程)
请问各位大大，该如何清洗的乾净又不会伤害到蓝宝石机板上的结构!
例如说:硫酸+双氧水等等...
谢谢各位~
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1F：→ ccitmdl:........真空油!!你应该会被杀吧!!!! 137.132.22.253 04/12 17:02
2F：推 tcsshisgood:硫酸加双氧水是业界标准清洗流程220.135.225.127 04/17 20:14
3F：→ tcsshisgood:但非常不建议 个人觉得麻烦又危险220.135.225.127 04/17 20:15