作者DivineAngel (空谷殘聲)
看板comm_and_RF
標題[問題] lithography 微影的說明
時間Thu Dec 15 21:33:02 2011
半導體製程看到這句有點無法理解
The process used to transfer a pattern to a layer
on the chip is called lithography.
lithography為什麼會跟transfer有關係呢
微影不是先塗photoresist(光阻劑)
然後透過UV光打在mask(光罩)上去處理晶體上的photoresist嗎
大概知道那句話是說 定型晶片上的一層的過程叫做微影製程
但是無法理解transfer的意思
不知道有沒有人能夠解答一下呢
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.118.230.172
1F：→ bluemkevin:pattern 是圖樣的意思 119.77.171.28 12/15 22:16
2F：→ bluemkevin:所以他要說的是把你設計的圖樣顯現在晶 119.77.171.28 12/15 22:20
3F：→ bluemkevin:片中的其中一層 119.77.171.28 12/15 22:20
4F：→ DivineAngel:那transfer呢 有點不懂這個140.118.230.172 12/15 22:21
5F：→ bluemkevin:就是把圖案"轉換"至晶圓上的意思 119.77.171.28 12/15 23:24
6F：→ bluemkevin:你原本在電腦中設計的圖樣要呈現在晶圓 119.77.171.28 12/15 23:26
7F：推 rainstonein:簡單的來說..你把光罩上的圖案"轉移" 125.229.250.11 12/15 23:46
8F：→ rainstonein:到你的樣品上 125.229.250.11 12/15 23:47
9F：→ DivineAngel:原來要翻成轉移 了解微影的製程140.118.230.172 12/15 23:48
10F：→ DivineAngel:但卻不知道要怎翻譯這段 感謝大家140.118.230.172 12/15 23:49