作者DivineAngel (空谷残声)
看板comm_and_RF
标题[问题] lithography 微影的说明
时间Thu Dec 15 21:33:02 2011
半导体制程看到这句有点无法理解
The process used to transfer a pattern to a layer
on the chip is called lithography.
lithography为什麽会跟transfer有关系呢
微影不是先涂photoresist(光阻剂)
然後透过UV光打在mask(光罩)上去处理晶体上的photoresist吗
大概知道那句话是说 定型晶片上的一层的过程叫做微影制程
但是无法理解transfer的意思
不知道有没有人能够解答一下呢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.118.230.172
1F：→ bluemkevin:pattern 是图样的意思 119.77.171.28 12/15 22:16
2F：→ bluemkevin:所以他要说的是把你设计的图样显现在晶 119.77.171.28 12/15 22:20
3F：→ bluemkevin:片中的其中一层 119.77.171.28 12/15 22:20
4F：→ DivineAngel:那transfer呢 有点不懂这个140.118.230.172 12/15 22:21
5F：→ bluemkevin:就是把图案"转换"至晶圆上的意思 119.77.171.28 12/15 23:24
6F：→ bluemkevin:你原本在电脑中设计的图样要呈现在晶圆 119.77.171.28 12/15 23:26
7F：推 rainstonein:简单的来说..你把光罩上的图案"转移" 125.229.250.11 12/15 23:46
8F：→ rainstonein:到你的样品上 125.229.250.11 12/15 23:47
9F：→ DivineAngel:原来要翻成转移 了解微影的制程140.118.230.172 12/15 23:48
10F：→ DivineAngel:但却不知道要怎翻译这段 感谢大家140.118.230.172 12/15 23:49