作者andlee (風中之塵)
看板comm_and_RF
標題[問題] 請問有關太陽能電池製程
時間Sun Apr 24 11:49:53 2011
請問各位大大
因為比起業界常用之製程設備 如:PECVD 等化學沉積法
其製程需通入矽甲烷 劇毒氣體
濺鍍法(sputtering) 為一個無毒性 且較安全之製程方法
不知光用濺鍍法
是否可以產出轉換效率佳之太陽能電池
因小弟在paper上好像都沒看過 用sputtering 製程 有提到轉換效率的
想請問各位這疑問
不知有沒PO錯版
感激不盡~
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 114.41.65.165
1F：推 Zoma:sputter很難吧~光doping每種濃度都一塊靶材耶 140.112.49.136 04/25 12:43
2F：→ Zoma:而且打上去的也一定跟靶材濃度不一樣~ 140.112.49.136 04/25 12:43
3F：→ Zoma:而且我想用ECR-sputter長應該也沒HDP-CVD好~ 140.112.49.136 04/25 12:44
4F：推 rainstonein:CIGS都很多用co-sputtering阿 125.229.240.91 04/26 01:51
5F：推 Zoma:歐抱歉~我是單指a-si solar cell 220.136.190.29 04/26 04:03
6F：→ andlee:感謝樓上兩位大大^^ 所以說業界沒有在用 140.125.31.82 04/26 10:18
7F：→ andlee:sputter 製程a-Si的太陽能電池囉? 140.125.31.82 04/26 10:20
8F：推 Zoma:不知道有沒有開發~但量產的沒看過就是~ 140.112.49.136 04/26 12:01