作者allencce ( )
看板comm_and_RF
標題[問題] O2 plasma
時間Sat Jul 31 13:07:23 2010
各位版友大家好
我們實驗室買了一台plasma cleaner
原廠提供是用空氣來做電漿氣體
由於實驗需求想要改成O2 plasma
但卻發生了一些問題
氧電漿點不起來(看不到輝光)
由於機器是提供29W的RF POWER(本機型最大的功率值)
真空約抽至1*10^-1左右
不知道是我們真空抽不夠還是功率太小
想麻煩有經驗的人提供一下意見 謝謝
補敘述操作流程：
1.抽真空至1*10^-1 torr
2.通入純氧沖腔體約10秒(壓力約在1.2 torr)
3.停止純氧供應，抽真空至1*10^-1 torr
4.通入純氧，控制壓力在5~8*10^-1 torr
5.開啟RF Power
6.關閉RF Power
7.破真空
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