作者allencce ( )
看板comm_and_RF
标题[问题] O2 plasma
时间Sat Jul 31 13:07:23 2010
各位版友大家好
我们实验室买了一台plasma cleaner
原厂提供是用空气来做电浆气体
由於实验需求想要改成O2 plasma
但却发生了一些问题
氧电浆点不起来(看不到辉光)
由於机器是提供29W的RF POWER(本机型最大的功率值)
真空约抽至1*10^-1左右
不知道是我们真空抽不够还是功率太小
想麻烦有经验的人提供一下意见 谢谢
补叙述操作流程：
1.抽真空至1*10^-1 torr
2.通入纯氧冲腔体约10秒(压力约在1.2 torr)
3.停止纯氧供应，抽真空至1*10^-1 torr
4.通入纯氧，控制压力在5~8*10^-1 torr
5.开启RF Power
6.关闭RF Power
7.破真空
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※ 编辑: allencce 来自: 140.128.194.201 (07/31 14:03)