作者missing0315 (zzzz)
看板comm_and_RF
標題[問題] Al和si歐姆接觸
時間Wed Sep 30 22:16:08 2009
想問一下
Al電極作在矽晶片上如果要形成歐姆接點的話
應該要經過退火的程序
想問一下退火的時間和溫度大概是多久
用高溫爐或是ＲＴＡ是否不同
升溫速度大概要少
Al大概鍍多厚差不多
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.168.75.234
1F：推 s8852036:............... 140.117.163.7 10/13 16:07
2F：推 PitzMan:樓上... XD 這問題不難吧...書上都有 120.101.8.119 10/15 16:45