作者missing0315 (zzzz)
看板comm_and_RF
标题[问题] Al和si欧姆接触
时间Wed Sep 30 22:16:08 2009
想问一下
Al电极作在矽晶片上如果要形成欧姆接点的话
应该要经过退火的程序
想问一下退火的时间和温度大概是多久
用高温炉或是ＲＴＡ是否不同
升温速度大概要少
Al大概镀多厚差不多
谢谢
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◆ From: 218.168.75.234
1F：推 s8852036:............... 140.117.163.7 10/13 16:07
2F：推 PitzMan:楼上... XD 这问题不难吧...书上都有 120.101.8.119 10/15 16:45