作者blisslatch (風城阿草)
看板comm_and_RF
標題Re: [問題] 什麼材料沉積在p型矽基板附著佳且歐姆接觸
時間Fri Sep 18 15:27:20 2009
※ 引述《slogan ()》之銘言：
: 請問一下，在p型矽基板上沉積什麼材料可以形成歐姆接觸而且與矽基板的附著
: 力很好，不容易和基板剝離開來，有嘗試沉積金，但附著力不好，請問還有其他
: 什麼材料適合呢？謝謝。
記得以前研究所裡都是用金或鋁來做電極，可以與半導體間形成歐姆接觸，
再加上銀膠接電極出來
一般容易剝落的問題起因大多是鍍面清洗不乾淨或是電極鍍得太厚導致，
若是真的要形成良好的接觸，大部分都是使用silicide的方法，
因為矽化物與矽的結合會比其他方式更佳，這方面有很多專利跟技術論文，
網路上都可以查詢得到!
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ㄇ ㄇ 監獄豬：
@ @ 你他媽的老子今天不加班！
( (oo) ) ~~~啾咪~~~喔咿~~~
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