作者blisslatch (风城阿草)
看板comm_and_RF
标题Re: [问题] 什麽材料沉积在p型矽基板附着佳且欧姆接触
时间Fri Sep 18 15:27:20 2009
※ 引述《slogan ()》之铭言：
: 请问一下，在p型矽基板上沉积什麽材料可以形成欧姆接触而且与矽基板的附着
: 力很好，不容易和基板剥离开来，有尝试沉积金，但附着力不好，请问还有其他
: 什麽材料适合呢？谢谢。
记得以前研究所里都是用金或铝来做电极，可以与半导体间形成欧姆接触，
再加上银胶接电极出来
一般容易剥落的问题起因大多是镀面清洗不乾净或是电极镀得太厚导致，
若是真的要形成良好的接触，大部分都是使用silicide的方法，
因为矽化物与矽的结合会比其他方式更佳，这方面有很多专利跟技术论文，
网路上都可以查询得到!
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ㄇ ㄇ 监狱猪：
@ @ 你他妈的老子今天不加班！
( (oo) ) ~~~啾咪~~~喔咿~~~
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.110.207.108