作者net603 (香蕉你的芭樂掉了)
看板comm_and_RF
標題[問題] 半導體 黃光製程 機台或技術一問(無法做六吋)
時間Tue Jun 9 11:20:16 2009
想請問有經驗的網友們
我要在GaN的材料上做奈米等級的結構，但問題是GaN的材料目前只有兩寸
而NDL(國家奈米中心)的I-line機台只能抓六吋的晶圓,所以不能再那做 Orz
所以想請問還有沒有別的方法,別的機台,別的技術,不管是業界或者是學校,付費也可以.
只要是能夠在GaN的晶圓上做出奈米等級的結構都可以,例如在上面做出直徑350nm的圓柱陣列,希望各位有志成驚艷的的網友們能提供相關資訊,萬分感謝!!!!
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◆ From: 140.138.177.9
1F：→ ccitmdl:EBL~~只是寫滿2吋可能要寫很久～～ 118.161.47.168 06/09 20:06
2F：推 bmw325:為什麼不直接將2吋的GaN黏在6吋的隨便一片 118.169.109.49 06/12 21:20
3F：→ bmw325:si wafer上這樣不是就可以進了.. 118.169.109.49 06/12 21:21
4F：→ net603:NDL只能進完整的六吋晶圓， 140.138.177.7 06/18 11:20
5F：→ net603:其他黏破片的方式都不行 140.138.177.7 06/18 11:20
6F：→ net603:會造成機台讀取不到 140.138.177.7 06/18 11:21