作者net603 (香蕉你的芭乐掉了)
看板comm_and_RF
标题[问题] 半导体 黄光制程 机台或技术一问(无法做六寸)
时间Tue Jun 9 11:20:16 2009
想请问有经验的网友们
我要在GaN的材料上做奈米等级的结构，但问题是GaN的材料目前只有两寸
而NDL(国家奈米中心)的I-line机台只能抓六寸的晶圆,所以不能再那做 Orz
所以想请问还有没有别的方法,别的机台,别的技术,不管是业界或者是学校,付费也可以.
只要是能够在GaN的晶圆上做出奈米等级的结构都可以,例如在上面做出直径350nm的圆柱阵列,希望各位有志成惊艳的的网友们能提供相关资讯,万分感谢!!!!
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◆ From: 140.138.177.9
1F：→ ccitmdl:EBL~~只是写满2寸可能要写很久～～ 118.161.47.168 06/09 20:06
2F：推 bmw325:为什麽不直接将2寸的GaN黏在6寸的随便一片 118.169.109.49 06/12 21:20
3F：→ bmw325:si wafer上这样不是就可以进了.. 118.169.109.49 06/12 21:21
4F：→ net603:NDL只能进完整的六寸晶圆， 140.138.177.7 06/18 11:20
5F：→ net603:其他黏破片的方式都不行 140.138.177.7 06/18 11:20
6F：→ net603:会造成机台读取不到 140.138.177.7 06/18 11:21