作者bunny0304 (努力)
看板comm_and_RF
標題[問題] 請教關於半導體銅製程中所謂 Cu loss ꤠ…
時間Mon Jun 16 01:12:14 2008
※ [本文轉錄自 Electronics 看板]
作者: bunny0304 (努力) 看板: Electronics
標題: [問題] 請教關於半導體銅製程中所謂 Cu loss 或是Smiling Curve
時間: Mon Jun 16 01:10:44 2008
各位大大：
想請教個問題，現在的12" 製程好像都是用銅製程來作為金屬導線
之前聽到關於copper loss 或是所謂smiling curve 的相關問題
不知道有哪位大大清楚這相關的東西??
是什麼機制會造成copper loss?? 或是smiling curve 的問題嚴重??
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