作者bunny0304 (努力)
看板comm_and_RF
标题[问题] 请教关於半导体铜制程中所谓 Cu loss ꤠ…
时间Mon Jun 16 01:12:14 2008
※ [本文转录自 Electronics 看板]
作者: bunny0304 (努力) 看板: Electronics
标题: [问题] 请教关於半导体铜制程中所谓 Cu loss 或是Smiling Curve
时间: Mon Jun 16 01:10:44 2008
各位大大：
想请教个问题，现在的12" 制程好像都是用铜制程来作为金属导线
之前听到关於copper loss 或是所谓smiling curve 的相关问题
不知道有哪位大大清楚这相关的东西??
是什麽机制会造成copper loss?? 或是smiling curve 的问题严重??
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