作者YHLee0105 (萊茵河)
看板ask
標題[請問] 旋轉式powder ALD相關問題
時間Sun Jul 3 18:30:49 2022
旋轉式Powder ALd是藉由
旋轉方式讓粉末飄起來
再藉由前驅物的化學反應
讓粉末表面鍍上一層薄膜
如圖所示
https://i.imgur.com/h0Q88vh.jpeg
為何腔體內壁要設計成凹凸不平的樣子？
請問這樣子有什麼好處？
如果可以的話，拜託提供相關原理的文章或是論文
拜託各位大大
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