作者YHLee0105 (莱茵河)
看板ask
标题[请问] 旋转式powder ALD相关问题
时间Sun Jul 3 18:30:49 2022
旋转式Powder ALd是藉由
旋转方式让粉末飘起来
再藉由前驱物的化学反应
让粉末表面镀上一层薄膜
如图所示
https://i.imgur.com/h0Q88vh.jpeg
为何腔体内壁要设计成凹凸不平的样子？
请问这样子有什麽好处？
如果可以的话，拜托提供相关原理的文章或是论文
拜托各位大大
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