作者Hydrisk (明日香)
看板Yup00-02
標題Introduction
時間Sat Oct 15 12:31:53 2005
光致電流(OBIC,optical beam induced current)之成像技術已被廣泛地應用於半導体元
件及積體電路之量測上。傳統的光致電流即是以連續波雷射(CW laser)照射半導體元件,
使其在空乏區(depletion region)上產生電子電洞對,這些載子可藉由外加逆偏壓及迴路
而被偵測,
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