作者Hydrisk (明日香)
看板Yup00-02
标题Introduction
时间Sat Oct 15 12:31:53 2005
光致电流(OBIC,optical beam induced current)之成像技术已被广泛地应用於半导体元
件及积体电路之量测上。传统的光致电流即是以连续波雷射(CW laser)照射半导体元件,
使其在空乏区(depletion region)上产生电子电洞对,这些载子可藉由外加逆偏压及回路
而被侦测,
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.163.96