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標題[新聞] 半導體突破奈米 成大低成本研發埃米受矚
時間Tue Jul 23 11:00:54 2024
半導體突破奈米 成大低成本研發埃米受矚目
2024/07/23 10:25
〔記者洪瑞琴／台南報導〕目前半導體製程主要是奈米等級，但產業界持續朝向更微小的
「埃米（奈米的 10 分之 1）」推進，
國立成功大學材料科學及工程學系助理教授徐邦昱
團隊利用自行組裝的設備，發揮車庫創業精神，讓細小的半導體分子能自動整齊排列在奈
米溝槽內，可操作精度達到埃米等級，這項成果已發表在國際期刊，受到國際矚目。
研究成果發表在國際高分子領域的一流期刊 Macromolecules。團隊最自豪的是學生們靠
著自行組裝的便宜設備，研發最先進的技術。徐邦昱表示，在研發的過程中需要用到許多
先進儀器，但動輒上千萬元，在工學院與材料系的支持下，學生們以較少經費、自行動手
組裝設備。
團隊成員包括材料系碩士生，楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承，
整個實驗室裡都是自行
組裝的設備，像是結合極低溫、微拉曼散射與可見光吸收3個系統的設備，市面上根本找
不到，即使有機會買到也要上千萬元，但團隊花了200萬元就組裝出來，而先進製程需要
用到的無光罩雷射微影系統，市售價格600到1000萬元，團隊則是花了20多萬元就組裝出
。
徐邦昱表示，目前半導體製程主要是在微小的基板上，依靠相近的原子晶格，透過高真空
磊晶設備控制長出晶體，再蝕刻提昇精準度，要讓細小的分子乖乖聽話，長在該長的地方
，很不容易，因此才需要價格昂貴的設備，營造潔淨單純的反應環境。目前已達到小於3
奈米（10億分之1公尺）的線寬精度，但持續推向埃米（10 埃米等於 1 奈米）精進，是
產業的必然，目前大家都在努力中。
徐邦昱說明，這項研究成果廣受國際注目的原因，在於打通了埃米級操作分子的多項技術
瓶頸，成功地大面積量化操作液相分子有序化磊晶。定量化控制複雜的分子間交互作用行
為，克服過往認為不可操作的分子運動，將材料的操作精度推進至埃米尺度。
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1F：推 electronicyi: 埃 沒有米吧...？ 07/23 11:03
2F：推 cosmite : 好厲害 07/23 11:03
3F：推 mianbowhow : 台積收 07/23 11:55
4F：推 jerrylee666 : 有再現性嗎？ 07/23 12:00
5F：推 F20V : 這個強，台積電應該要資助這學校才對 07/23 12:13
6F：→ BoXeX : 沒再現性論文不好過吧 不過這些應該真的GG全收了 07/23 12:13
7F：→ BoXeX : 有種默默的哀傷 明明做到頂尖卻只有賣肝公司能進 07/23 12:13
8F：噓 ijk1 : 厲害 畢業保送GG產線製程 07/23 12:28
9F：推 edison106 : 產線留好您的位置 07/23 12:36
10F：推 asd78970 : 埃就埃 埃米是什麼小 07/23 12:38
11F：推 wiesgame : 蛤…碩班不都這樣玩嗎？特別的點是？ 07/23 12:43
12F：→ venomsoul : 埃米是殺小啦 07/23 12:49
13F：噓 QuantumHsia : 記者不懂別瞎掰單位名稱 07/23 13:28
14F：→ wolf6766 : 記者真逗 07/23 13:42
15F：推 by19 : 有對岸手磨5奈米厲害嗎？ 07/23 13:47
16F：推 Barrage : 台灣高教是真的窮 07/23 14:13
17F：推 BensonLinZW : 成大和台積早就在合作了 07/23 14:44
18F：推 randystock : 埃米納姆？ 07/23 15:02
19F：推 wju1230 : 這群人不考慮先開公司賣儀器嗎 XD 07/23 15:03
20F：推 boy3526 : 推19樓，真的！這才是遠見。應該趕快註冊的弄一弄 07/23 15:16
21F：推 DuskStan : 這故事我看過 研究到後面 他老婆會誤觸設備縮小消 07/23 15:23
22F：→ DuskStan : 失在次元裡 07/23 15:23
23F：推 bettyangel : 包子現在又騙烏克蘭跟他合作偷技術= = 07/23 15:43
24F：推 bettyangel : 以及用此破壞民主國家 07/23 15:53
25F：→ jack529 : 教授準備收割 07/23 16:19
26F：噓 qoo60606 : 埃米是三小 07/23 16:22
27F：→ houseguy : 米不是m嗎？ 07/23 17:14
28F：推 neil0611 : 尊嘟甲嘟？ 07/23 17:19
29F：推 QooQooQ : 不能這樣算吧....市售設備的價格是加上利潤成本研發 07/23 17:23
30F：→ QooQooQ : 費用，學校搞得是純算買東西的費用...你把學校的人 07/23 17:24
31F：→ QooQooQ : 事成本 學生加班研究的費用都算上去在算算看這台設 07/23 17:24
32F：→ QooQooQ : 備要多.... 07/23 17:24
33F：推 chons2332 : SAM? 07/23 17:34
34F：推 c8c8c8 : 埃就埃。誰跟你埃米 07/23 17:55
35F：推 qwe78971 : ASML 興趣比較高吧 07/23 18:01
36F：→ wzmildf : 欸不是，可以操作半導體分子和線寬兩回事好嗎？ 07/23 18:19
37F：→ wzmildf : 現在ALD早就都用A當單位在沉積了 這種只能玩玩研究 07/23 18:20
38F：→ wzmildf : 企劃案吧，是能幹嘛... 07/23 18:20
39F：推 storym94374 : 又在埃米 記者都亂掰習慣了吧 07/23 18:34
40F：推 th19883617 : 學術玩具跟量產還差得遠勒 07/23 18:54
41F：推 tumusi : 這些人送去大陸開公司，用幾百萬就可以造出唉米製 07/23 19:21
42F：→ tumusi : 程，應該可以騙到不少錢 07/23 19:21
43F：→ faniour : 發paper用的玩具 07/23 20:21
44F：推 tpegioe : 市售設備是為量產設計，實驗室製造規模很小，價格 07/23 20:22
45F：→ tpegioe : 不能直接比 07/23 20:22
46F：→ douge : oxide semiconductor 現世 可以直接用 ALD生長 07/23 20:37
47F：→ douge : 這些研究很難取代了 07/23 20:37
48F：→ douge : 偏偏電性又頂 07/23 20:37
49F：推 Merman19 : 厲害了 我就說那個良率怎搞 07/23 21:07
50F：推 iPadProPlus : 埃米 07/23 21:22
51F：→ TISH12311 : 百米 米 微米 毫米 厘米 奈米 精米 糙米 07/23 21:55
52F：推 CrabBro : 如果是真的還滿屌的，但據經驗常理不太可能 07/23 22:19
53F：推 leo255112 : 雖然你怎樣也不可能突破angstrom , 趁這個極限到來 07/23 22:33
54F：→ leo255112 : 之前都還有可能性存在 07/23 22:33
55F：噓 a120463 : 正名Å 07/23 22:47
56F：推 GGINDOWBOW : 幹 真的能用土炮法長出埃等級的那很屌欸 07/24 05:24
57F：推 tim790809 : 幾十萬就可做了 代表ASML真的敲竹槓.. 07/24 09:22
58F：→ invidia : 蓬萊米 07/24 09:42
59F：推 Sam0453 : 無光罩曝光機throughput跟resolution不可能取代光 07/24 15:18
60F：→ Sam0453 : 罩啦，ASML貴是有它的道理 07/24 15:18
61F：推 jhjhs33504 : 埃好歹是個標準單位 為啥一天到晚寫錯？ 07/24 16:31
62F：推 anson26666 : 上面有些留言好好笑，真以為台積 RD 跟產線都在搞爆 07/24 16:49
63F：→ anson26666 : 肝那套？可笑 07/24 16:49
64F：推 nxuanr : 台灣加油啦 07/24 17:41
65F：推 ggyypp616 : 小彬彬又能生了 07/24 18:26
66F：推 bobjohns : 那台積電找他們合作 做機台就好 一台造價只要10分 07/25 00:45
67F：→ bobjohns : 之1 一年光省資本支出就省200多億美元 比自己賺 07/25 00:45
68F：→ bobjohns : 的還多 07/25 00:45
69F：推 zx1986 : 太神了吧 07/25 11:38
70F：噓 black82465 : 文組記者 07/25 14:57
71F：→ mike0 : 通篇廢文，到底做到幾A也沒寫，良率也沒寫 07/26 00:25