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标题[新闻] 半导体突破奈米 成大低成本研发埃米受瞩
时间Tue Jul 23 11:00:54 2024
半导体突破奈米 成大低成本研发埃米受瞩目
2024/07/23 10:25
〔记者洪瑞琴／台南报导〕目前半导体制程主要是奈米等级，但产业界持续朝向更微小的
「埃米（奈米的 10 分之 1）」推进，
国立成功大学材料科学及工程学系助理教授徐邦昱
团队利用自行组装的设备，发挥车库创业精神，让细小的半导体分子能自动整齐排列在奈
米沟槽内，可操作精度达到埃米等级，这项成果已发表在国际期刊，受到国际瞩目。
研究成果发表在国际高分子领域的一流期刊 Macromolecules。团队最自豪的是学生们靠
着自行组装的便宜设备，研发最先进的技术。徐邦昱表示，在研发的过程中需要用到许多
先进仪器，但动辄上千万元，在工学院与材料系的支持下，学生们以较少经费、自行动手
组装设备。
团队成员包括材料系硕士生，杨永平、何承泰、黄宇瀚及许子承，
整个实验室里都是自行
组装的设备，像是结合极低温、微拉曼散射与可见光吸收3个系统的设备，市面上根本找
不到，即使有机会买到也要上千万元，但团队花了200万元就组装出来，而先进制程需要
用到的无光罩雷射微影系统，市售价格600到1000万元，团队则是花了20多万元就组装出
。
徐邦昱表示，目前半导体制程主要是在微小的基板上，依靠相近的原子晶格，透过高真空
磊晶设备控制长出晶体，再蚀刻提昇精准度，要让细小的分子乖乖听话，长在该长的地方
，很不容易，因此才需要价格昂贵的设备，营造洁净单纯的反应环境。目前已达到小於3
奈米（10亿分之1公尺）的线宽精度，但持续推向埃米（10 埃米等於 1 奈米）精进，是
产业的必然，目前大家都在努力中。
徐邦昱说明，这项研究成果广受国际注目的原因，在於打通了埃米级操作分子的多项技术
瓶颈，成功地大面积量化操作液相分子有序化磊晶。定量化控制复杂的分子间交互作用行
为，克服过往认为不可操作的分子运动，将材料的操作精度推进至埃米尺度。
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1F：推 electronicyi: 埃 没有米吧...？ 07/23 11:03
2F：推 cosmite : 好厉害 07/23 11:03
3F：推 mianbowhow : 台积收 07/23 11:55
4F：推 jerrylee666 : 有再现性吗？ 07/23 12:00
5F：推 F20V : 这个强，台积电应该要资助这学校才对 07/23 12:13
6F：→ BoXeX : 没再现性论文不好过吧 不过这些应该真的GG全收了 07/23 12:13
7F：→ BoXeX : 有种默默的哀伤 明明做到顶尖却只有卖肝公司能进 07/23 12:13
8F：嘘 ijk1 : 厉害 毕业保送GG产线制程 07/23 12:28
9F：推 edison106 : 产线留好您的位置 07/23 12:36
10F：推 asd78970 : 埃就埃 埃米是什麽小 07/23 12:38
11F：推 wiesgame : 蛤…硕班不都这样玩吗？特别的点是？ 07/23 12:43
12F：→ venomsoul : 埃米是杀小啦 07/23 12:49
13F：嘘 QuantumHsia : 记者不懂别瞎掰单位名称 07/23 13:28
14F：→ wolf6766 : 记者真逗 07/23 13:42
15F：推 by19 : 有对岸手磨5奈米厉害吗？ 07/23 13:47
16F：推 Barrage : 台湾高教是真的穷 07/23 14:13
17F：推 BensonLinZW : 成大和台积早就在合作了 07/23 14:44
18F：推 randystock : 埃米纳姆？ 07/23 15:02
19F：推 wju1230 : 这群人不考虑先开公司卖仪器吗 XD 07/23 15:03
20F：推 boy3526 : 推19楼，真的！这才是远见。应该赶快注册的弄一弄 07/23 15:16
21F：推 DuskStan : 这故事我看过 研究到後面 他老婆会误触设备缩小消 07/23 15:23
22F：→ DuskStan : 失在次元里 07/23 15:23
23F：推 bettyangel : 包子现在又骗乌克兰跟他合作偷技术= = 07/23 15:43
24F：推 bettyangel : 以及用此破坏民主国家 07/23 15:53
25F：→ jack529 : 教授准备收割 07/23 16:19
26F：嘘 qoo60606 : 埃米是三小 07/23 16:22
27F：→ houseguy : 米不是m吗？ 07/23 17:14
28F：推 neil0611 : 尊嘟甲嘟？ 07/23 17:19
29F：推 QooQooQ : 不能这样算吧....市售设备的价格是加上利润成本研发 07/23 17:23
30F：→ QooQooQ : 费用，学校搞得是纯算买东西的费用...你把学校的人 07/23 17:24
31F：→ QooQooQ : 事成本 学生加班研究的费用都算上去在算算看这台设 07/23 17:24
32F：→ QooQooQ : 备要多.... 07/23 17:24
33F：推 chons2332 : SAM? 07/23 17:34
34F：推 c8c8c8 : 埃就埃。谁跟你埃米 07/23 17:55
35F：推 qwe78971 : ASML 兴趣比较高吧 07/23 18:01
36F：→ wzmildf : 欸不是，可以操作半导体分子和线宽两回事好吗？ 07/23 18:19
37F：→ wzmildf : 现在ALD早就都用A当单位在沉积了 这种只能玩玩研究 07/23 18:20
38F：→ wzmildf : 企划案吧，是能干嘛... 07/23 18:20
39F：推 storym94374 : 又在埃米 记者都乱掰习惯了吧 07/23 18:34
40F：推 th19883617 : 学术玩具跟量产还差得远勒 07/23 18:54
41F：推 tumusi : 这些人送去大陆开公司，用几百万就可以造出唉米制 07/23 19:21
42F：→ tumusi : 程，应该可以骗到不少钱 07/23 19:21
43F：→ faniour : 发paper用的玩具 07/23 20:21
44F：推 tpegioe : 市售设备是为量产设计，实验室制造规模很小，价格 07/23 20:22
45F：→ tpegioe : 不能直接比 07/23 20:22
46F：→ douge : oxide semiconductor 现世 可以直接用 ALD生长 07/23 20:37
47F：→ douge : 这些研究很难取代了 07/23 20:37
48F：→ douge : 偏偏电性又顶 07/23 20:37
49F：推 Merman19 : 厉害了 我就说那个良率怎搞 07/23 21:07
50F：推 iPadProPlus : 埃米 07/23 21:22
51F：→ TISH12311 : 百米 米 微米 毫米 厘米 奈米 精米 糙米 07/23 21:55
52F：推 CrabBro : 如果是真的还满屌的，但据经验常理不太可能 07/23 22:19
53F：推 leo255112 : 虽然你怎样也不可能突破angstrom , 趁这个极限到来 07/23 22:33
54F：→ leo255112 : 之前都还有可能性存在 07/23 22:33
55F：嘘 a120463 : 正名Å 07/23 22:47
56F：推 GGINDOWBOW : 干 真的能用土炮法长出埃等级的那很屌欸 07/24 05:24
57F：推 tim790809 : 几十万就可做了 代表ASML真的敲竹杠.. 07/24 09:22
58F：→ invidia : 蓬莱米 07/24 09:42
59F：推 Sam0453 : 无光罩曝光机throughput跟resolution不可能取代光 07/24 15:18
60F：→ Sam0453 : 罩啦，ASML贵是有它的道理 07/24 15:18
61F：推 jhjhs33504 : 埃好歹是个标准单位 为啥一天到晚写错？ 07/24 16:31
62F：推 anson26666 : 上面有些留言好好笑，真以为台积 RD 跟产线都在搞爆 07/24 16:49
63F：→ anson26666 : 肝那套？可笑 07/24 16:49
64F：推 nxuanr : 台湾加油啦 07/24 17:41
65F：推 ggyypp616 : 小彬彬又能生了 07/24 18:26
66F：推 bobjohns : 那台积电找他们合作 做机台就好 一台造价只要10分 07/25 00:45
67F：→ bobjohns : 之1 一年光省资本支出就省200多亿美元 比自己赚 07/25 00:45
68F：→ bobjohns : 的还多 07/25 00:45
69F：推 zx1986 : 太神了吧 07/25 11:38
70F：嘘 black82465 : 文组记者 07/25 14:57
71F：→ mike0 : 通篇废文，到底做到几A也没写，良率也没写 07/26 00:25