作者skysleep (知易型男)
看板Tech_Job
標題[心得] 半導體製程整合心得
時間Wed Feb 2 11:56:09 2022
由於小弟在Fab也做了幾年製程整合，這邊整理一下製程整合會碰到，而且需要具備
的相關知識心得。希望可以對想要進入或剛進入製程整合的新人有所幫助~
如果有誤，再麻煩指正，感謝~
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首先，整個半導體產業最終的目的就是做出可以運算/感測/放大...各種訊號的晶片
，所以一定要記得，Fab做出來的東西是要通電的。有很多做製程的工程師，做到最後對
製程很熟悉，但是卻不知道為什麼要這麼做
(Ex:為什麼要HKMG? 為甚麼要contact下面一定要重參雜? 為什麼poly也要打IMP?)
我們可以先看下面這張電路階層圖，這張圖由下到上展現了從元件開發到電路設計的
關係，從最下面的MOS/電阻/電感...到上面的邏輯閘，再到最後設計出的電路功能。
https://imgur.com/ad1HQIV
這張圖中展示了Fab和豬屎屋之間的關係，Fab是Bottom up來看電路，主要負責各種
Device特性開發，例如:MOS/Cap/電阻/電容...。而其中就牽涉到半導體元件，製程，量
子物理，光學，化學...等等基礎科學。
另一方面，豬屎屋則是Top down來看電路，從一開始晶片應用領域(是CIS，HPC，還
是高壓電路?)，到電路設計/模擬...，主要需要熟悉電子電路，數位，類比，計算機...
。
而其中，PDK就扮演了溝通橋梁，PDK內含的平台文件就可以讓Designer知道，各種電
子元件會出現的Performance，並且進行模擬/設計。而PDK也會讓製程整合知道，製程
Spec該如何制定卡控。
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而從製程平台的角度來看，可以分成幾個階段
https://imgur.com/cre4aqz
1. 製程平台開發
主要由TD或RD執行，這階段需要了解客戶會用到甚麼樣的元件，操作電壓，漏電大小，
SOA...，並且搭配場內製程，來開發元件。而有了基本的製程flow，就可以實際跑實驗
Lot，撒split條件，確認有沒有打到目標。
實驗Lot跑完了，就可以準備做model，這時就要提供Si data給model team，生出SPICE
model，也要制定電性 spec，最後才能送Qual驗證可靠度
而其中也牽涉到IP驗證，IP需要在廠內製程Run過之後，才能實際送給IP house驗證，避
免因製程差異而function異常。
2. 製程平台改良
主要由TD執行，平台OK之後，客戶才會下單NTO，而過程中製程整合需要做窗口，不管是
DRC有問題，產能時程問題，各式各樣的問題都要回答客戶。
而初期Pi-run，需要確認各項製程Window足夠，有了製程Window才有電性Window，最後才
有良率Window
3. 製程平台量產
初期Pi-run結束後，到一定量，就會轉量產，量產就會專門做製程改善，Inline Cpk改善
，抓commom tool，產能改善...
https://imgur.com/Pl9qP2K
https://imgur.com/Suqou1k
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老實說，製程整合在Fab真的需要蠻長的訓練期，1~2年可能都還是新人，做不出什麼貢獻
，畢竟初期光是要把製程和電性關係了解，就要花很多時間。所以一開始都在帶Lot。
而製程和電性關係了解之後，才可能去調動製程條件，把電性做調整。而這一切的核心其
實還是半導體元件物理，真的建議找本課本，或開放式課程看看。
製程整合在Fab需要接觸很多面向，幾乎甚麼事情都會變成整合要做Owner
(Ex:
產品Low yield --> 整合找module 討論root cause
Device Qual不過--> 整合找Q 討論root cause
Pi-run交期太慢 --> 整合找生管幫忙)
所以整合常常要做溝通橋梁，一邊是客戶，一邊是廠內Module，很需要溝通技巧，合作能
力
而接觸面廣，有好處也有壞處。整合可能是process懂一點，Model懂一點，Device懂一點
，良率分析懂一點，Qual懂一點...。但反過來說，也是因為什麼都要碰所以也才能與豬
屎屋溝通，所以也有人之後就跳去客戶端發展。
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66F：→ ming5566 : 蝦咪係NTO? 02/02 14:41
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68F：→ Dgpt : 笑死，L/Y 找媽久討論這種話你們說的出來喔，不都 02/02 14:45
69F：→ Dgpt : 馬是HL製程跟設備，叫他們生report出來給你們抄著 02/02 14:45
70F：→ Dgpt : 看 02/02 14:45
71F：推 godrainbow : 真的很用心，我對應的整合窗口只會裝逼把自己當小主 02/02 14:47
72F：→ godrainbow : 管派工，問題一問三不知，查了一下還發現不少菜鳥， 02/02 14:47
73F：→ godrainbow : 我都想嗨賴他父母查一下他們家小孩到底有什麼問題要 02/02 14:47
74F：→ godrainbow : 好好改善一下不要出來害人 02/02 14:47
75F：推 lolpklol0975: U 質 02/02 14:49
76F：推 jimjiang : 推，兩年心得真的是這樣 02/02 14:50
77F：推 ppc0515 : 推 02/02 14:51
78F：推 Incentive : 推分享 02/02 15:06
79F：→ bbdd203 : 有時候蠻多module再靠邀整合只會HL 但是當有機會給 02/02 15:20
80F：→ bbdd203 : 他們到整合嘗試時 卻又退縮不說話 各位子都有自己 02/02 15:20
81F：→ bbdd203 : 的苦衷 推文沒必要酸酸 02/02 15:20
82F：推 h816090 : 強者推 02/02 15:21
83F：推 den7 : 讚讚 02/02 15:23
84F：推 accle7905231: 優質 02/02 15:33
85F：推 lopiuytio : 真神人 02/02 15:34
86F：推 jpadesky : 謝謝分享 02/02 15:34
87F：推 kevinfisher : 優文給推，不過GG分工真的太細了，很多人就算做了 02/02 15:35
88F：→ kevinfisher : 兩三年還是只會帶貨跟查inline 02/02 15:35
89F：推 unmolk : 推 02/02 15:59
90F：推 yuki166618 : 推，優文 02/02 16:02
91F：推 mile022 : 整合很容易可以做出價值 也很多人可以做到人人嫌 02/02 16:02
92F：推 jerboaa : 推 02/02 16:05
93F：推 j821005 : 不懂這些的資深整合到處都是 02/02 16:16
94F：→ j821005 : 看電子學開放課程跟施敏的書就可以了解七八成了吧 02/02 16:17
95F：推 rootAtaabu : 推 02/02 16:24
96F：推 wj94ce0y0 : U 02/02 16:28
97F：推 kerorogunso : 推 清楚明瞭 02/02 16:28
98F：推 r833123 : 推 多講一點啊 02/02 16:40
99F：推 soneyoona : 推推 02/02 16:47
100F：推 Stan6003 : 推 02/02 16:55
101F：推 leo255112 : 訓練期很長是真的 感覺前三年都還是跟廢物沒兩樣 02/02 16:57
102F：推 ass0611ass : 好文推推 02/02 17:08
103F：推 willhotmail : 謝謝分享 02/02 17:14
104F：推 aa3104 : 推 02/02 17:16
105F：推 TCross2 : 推推 02/02 17:16
106F：推 crayon56 : 優文推推 02/02 17:22
107F：推 qwe080969 : 何止兩三年 多的是待到5年以上還是跟廢物一樣 GG分 02/02 18:01
108F：→ qwe080969 : 工太細加上強大的系統 什麼都不懂的人也是可以生存 02/02 18:01
109F：推 homepark : 優文給推 02/02 18:03
110F：推 andy7829 : 推 02/02 18:07
111F：推 jkasc28s : excel ppt 搓湯圓 這三個精通包整合路順遂 02/02 18:14
112F：推 llltt123 : 整合不是追in-line shift跟pi run 時程麻.......... 02/02 18:25
113F：推 s011045 : 推 02/02 18:55
114F：推 kennetharies: 推 02/02 19:09
115F：推 aj30432000 : 好文好文 02/02 19:15
116F：→ jimmy6247 : 整合是溝通橋樑，但通常整合的橋樑都是斷的，跟客戶 02/02 19:25
117F：→ jimmy6247 : 起爭執、跟製程起爭執、跟Q、跟製造部都會起爭執， 02/02 19:25
118F：→ jimmy6247 : 上手之前要記得先學會彎腰求人幫做事 02/02 19:25
119F：推 edward851003: 美光的整合大概也是這樣嗎 02/02 19:25
120F：推 flysonics : 看到這篇 我也想在版上寫一些乾貨幫助新人了 來準 02/02 19:29
121F：→ flysonics : 備準備 02/02 19:29
122F：噓 pc0207119 : 可以不要只懂一點就亂開槍嗎 02/02 19:36
123F：推 jjfly3360 : 讚！ 02/02 19:40
124F：推 contaminate : good 02/02 19:45
125F：推 shao870605 : 推 02/02 19:48
126F：推 Janeee : 推佛心 02/02 19:52
127F：推 tyl : 推，寫得淺顯易懂！ 02/02 19:54
128F：推 tr6271bf : 大推好文，漲知識了。 02/02 19:54
129F：推 luyixiang : 推推 02/02 19:58
130F：推 zch222520 : Low yield這關，雞巴的客戶就殺了不少人 02/02 20:09
131F：推 totalbspark : 不是EE背景的真的要熬一段時間 02/02 20:11
132F：推 mile022 : 板上不是都說EE進整合是頭殼裝屎 事實上固態組走這 02/02 20:26
133F：→ mile022 : 條路是不錯的 02/02 20:26
134F：推 Ryan5678 : 太優質了 02/02 20:27
135F：推 dreamcat0925: 優質推 02/02 20:47
136F：推 mile022 : 後續周遭不少朋友往客戶端 甚至foundry marketing 02/02 20:48
137F：→ mile022 : TD工程還有 device 都有 出路廣是不可否認的 02/02 20:49
138F：推 littlelinsyu: 淺顯易懂 02/02 20:49
139F：推 CCP4 : 推 02/02 20:56
140F：推 Asher077 : 推 02/02 21:08
141F：推 asdg62558 : 推 02/02 21:08
142F：推 bigwhite327 : 可以不要一直造成線上loading嗎 02/02 21:19
143F：推 Trulli : 推 02/02 21:21
144F：推 zhangc1010 : 推 02/02 21:21
145F：噓 mahament : 唬爛喔 low yield不就怪module 就好 02/02 21:41
146F：推 mile022 : 樓上那種心態 出問題也只會怪機台 正常 02/02 22:15
147F：推 winer2794 : 好文 02/02 22:24
148F：→ willko : 推 公司太多87整合 02/02 22:33
149F：推 verming1 : 謝謝分享 02/02 22:41
150F：推 johnny8510 : 推 感謝大大分享！ 02/02 22:55
151F：推 wqa98765 : 推 02/02 22:59
152F：推 KasperTW : 待過整合，看完沒啥幫助…但推一下 02/02 22:59
153F：推 raya61305 : 寫得蠻完整 不過如果完全沒做過的也看不懂 02/02 23:08
154F：推 nightben : 推好文 02/02 23:10
155F：推 isco : 整合很缺人齁？ 02/02 23:14
156F：推 sqt : 好強，謝謝分享 02/02 23:18
157F：推 TCross2 : 真的強者整合，那些repot 打開媽久都不敢講話，趕 02/02 23:43
158F：→ TCross2 : 快team敲大小leader一起查case 02/02 23:43
159F：→ TCross2 : 但真的也很多摸魚整合在那邊降低水準，整合真的是上 02/02 23:44
160F：→ TCross2 : 下限很高的職位 02/02 23:44
161F：推 chariot825 : 沒看過比這篇更好的文章，謝謝分享 02/02 23:48
162F：推 margaret6376: 推 02/03 00:09
163F：噓 orange0319 : PEI 嗨賴製程設備，要生報告和掛機限把機台限縮，所 02/03 00:15
164F：→ orange0319 : 以製造部可過機台少堆貨產能過不去，又再說這是什麼 02/03 00:15
165F：→ orange0319 : 重要客戶還是廠長的LOT要先過，都給你們整合說就飽 02/03 00:15
166F：→ orange0319 : 了啊 02/03 00:15
167F：推 orange0319 : 而且也可能整合關機限的時候不說一聲，發現變slow l 02/03 00:21
168F：→ orange0319 : ot才發現被限到沒機台可過，要是再搭配Q-time真的不 02/03 00:21
169F：→ orange0319 : 要怪線上整天call out當站整合 02/03 00:21
170F：→ pinkjenny : poly不一定會打imp吧 02/03 00:32
171F：噓 pinkjenny : 果然不是GG的PID... 02/03 00:35
172F：推 raya61305 : 很明顯U帶N28的吧 02/03 00:37
173F：推 Sanosuki : 推 02/03 00:50
174F：推 a123457 : 推噢 02/03 00:59
175F：推 lanndydanny : 推 02/03 01:13
176F：推 chyuan86520 : 推 02/03 01:14
177F：推 bolee : 推 02/03 01:34
178F：推 russellluo : 優質 02/03 02:56
179F：推 Cinderella : 其實這篇寫得蠻好的 02/03 02:56
180F：推 chinchingwei: 推 02/03 03:42
181F：推 ma430201 : 好文 推推 02/03 04:14
182F：推 adrian2266 : 先推 02/03 06:58
183F：推 rizman28 : 感謝 02/03 07:16
184F：推 umpwn : 熱心推 02/03 07:50
185F：推 skyless : 祝樓主一生平安 02/03 09:00
186F：推 neat875 : 有記憶體整合心得嗎 02/03 09:18
187F：推 black82465 : 這個優 02/03 09:20
188F：推 kr78963212 : 優質文幫推 02/03 09:31
189F：推 mile022 : T的28也是全段 某人不要自己不知道就這樣 02/03 09:48
190F：推 rosty : 推 02/03 09:48
191F：推 seaice : 樓主好人一生平安 02/03 10:58
192F：推 kenscopen : 優質好文 推推 02/03 12:08
193F：推 jeff830603 : 推推 謝謝大大 02/03 12:15
194F：推 kevinfisher : N28的HKMG, PO確實不用打IMP吧 02/03 12:35
195F：推 slg : 整合出路很廣的，是個好的工作選擇 02/03 12:51
196F：推 LeoPan : 推，感謝分享，一直想往製程整合，但不得其門而入 02/03 12:53
197F：→ trigold0703 : 寫報告排版的功力真的很弱，配色差、輕重字不會用、 02/03 13:42
198F：→ trigold0703 : 內容在行內很皮毛，這樣要拿去面試只能騙騙外行的 02/03 13:42
199F：→ OAVAYAVAO : 屎缺 02/03 14:04
200F：推 lightwang : 可以 02/03 14:24
201F：推 love913109 : 難得認真文,不是一堆整天想害人進產線的無腦留言 02/03 15:56
202F：推 Toyallol : 推 02/03 19:25
203F：推 mile022 : 樓上某位 報告要能深入淺出 以簡介而言很ok 這種公 02/03 19:29
204F：→ mile022 : 開網站總不能放一些製程資料FA吧 又不是想被 到脫 02/03 19:29
205F：→ mile022 : 褲 只能說 他的架構不錯 應該也是 待過豬屎屋 02/03 19:30
206F：推 a590910 : 好文 02/03 20:34
207F：推 canallchen : 還在整合？這工作跟製程一樣操。樓主一生平安。 02/03 20:47
208F：推 tedchen1025 : 整合是半導體職涯不錯的開始... 02/03 21:03
209F：推 lincecumli : 大推 02/03 21:42
210F：推 sheepxo : 推 02/03 22:11
211F：推 Janissary : 推一個 02/03 23:43
212F：推 sandy9520 : 推 02/03 23:45
213F：推 spectre07 : 推 02/04 00:37
214F：噓 si5111 : PID可以自己先查一下再HL嗎 02/04 02:29
215F：推 ccworker : 有時候Highlight 不見得是壞事... 02/04 05:21
216F：→ ccworker : 多年前Highlight 某module 它們做得可起勁了 02/04 05:21
217F：→ ccworker : 我也順水推舟都讓他去Update進度跟結果 02/04 05:22
218F：→ ccworker : (某些機台/module很難得可以搞出有能見度的CIP) 02/04 05:23
219F：推 antyallen : 推。雖然很粗淺，但版上應該沒幾個人有耐心打出這 02/04 08:41
220F：→ antyallen : 些文字！謝謝！ 02/04 08:41
221F：推 jiawhat11 : 推 02/04 08:53
222F：推 MrRedHair : Please 不want再Chinese英mix了 02/04 09:58
223F：推 rubio123200 : 同為整合人 推 02/04 10:27
224F：推 dn91hde38b : 推 02/04 11:25
225F：推 aocboy : 好專業，非理組的看不懂，但是可以學知識，感恩 02/04 14:56
226F：推 cory298 : 推，謝謝分享 02/04 15:40
227F：推 fuwai : 上面挑毛病的, 也可以自己分享一篇 02/04 20:30
228F：推 Armuu : 好文 02/04 20:59
229F：推 Lindeman5566: 這就是為啥豬屎屋比較愛收PIE不愛收PE和EE 02/04 21:22
230F：推 z515026 : 你不知道大間整合是 帶貨 HL 而已嗎？ 你不要自己露 02/05 01:59
231F：→ z515026 : 餡在二四線廠的行為齁 02/05 01:59
232F：→ Lindeman5566: 帶貨HL優先收PIE沒錯啊? 有邏輯衝突嗎 = =? 02/05 02:46
233F：推 hungyi309 : 詳細給推 02/05 11:14
234F：推 aegis91086 : 推 02/05 14:24
235F：推 aka8763 : 推 02/05 14:25
236F：推 Satansblessi: 推好文 02/07 01:31
237F：推 a40006 : 推 02/07 10:14
238F：噓 zz740324 : 整合不就是lot出問題去co機台誰比例最高就打誰嗎 02/08 12:55
239F：推 a991235137 : 推好文 02/08 16:54