作者skysleep (知易型男)
看板Tech_Job
标题[心得] 半导体制程整合心得
时间Wed Feb 2 11:56:09 2022
由於小弟在Fab也做了几年制程整合,这边整理一下制程整合会碰到,而且需要具备
的相关知识心得。希望可以对想要进入或刚进入制程整合的新人有所帮助~
如果有误,再麻烦指正,感谢~
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首先,整个半导体产业最终的目的就是做出可以运算/感测/放大...各种讯号的晶片
,所以一定要记得,Fab做出来的东西是要通电的。有很多做制程的工程师,做到最後对
制程很熟悉,但是却不知道为什麽要这麽做
(Ex:为什麽要HKMG? 为甚麽要contact下面一定要重参杂? 为什麽poly也要打IMP?)
我们可以先看下面这张电路阶层图,这张图由下到上展现了从元件开发到电路设计的
关系,从最下面的MOS/电阻/电感...到上面的逻辑闸,再到最後设计出的电路功能。
https://imgur.com/ad1HQIV
这张图中展示了Fab和猪屎屋之间的关系,Fab是Bottom up来看电路,主要负责各种
Device特性开发,例如:MOS/Cap/电阻/电容...。而其中就牵涉到半导体元件,制程,量
子物理,光学,化学...等等基础科学。
另一方面,猪屎屋则是Top down来看电路,从一开始晶片应用领域(是CIS,HPC,还
是高压电路?),到电路设计/模拟...,主要需要熟悉电子电路,数位,类比,计算机...
。
而其中,PDK就扮演了沟通桥梁,PDK内含的平台文件就可以让Designer知道,各种电
子元件会出现的Performance,并且进行模拟/设计。而PDK也会让制程整合知道,制程
Spec该如何制定卡控。
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而从制程平台的角度来看,可以分成几个阶段
https://imgur.com/cre4aqz
1. 制程平台开发
主要由TD或RD执行,这阶段需要了解客户会用到甚麽样的元件,操作电压,漏电大小,
SOA...,并且搭配场内制程,来开发元件。而有了基本的制程flow,就可以实际跑实验
Lot,撒split条件,确认有没有打到目标。
实验Lot跑完了,就可以准备做model,这时就要提供Si data给model team,生出SPICE
model,也要制定电性 spec,最後才能送Qual验证可靠度
而其中也牵涉到IP验证,IP需要在厂内制程Run过之後,才能实际送给IP house验证,避
免因制程差异而function异常。
2. 制程平台改良
主要由TD执行,平台OK之後,客户才会下单NTO,而过程中制程整合需要做窗口,不管是
DRC有问题,产能时程问题,各式各样的问题都要回答客户。
而初期Pi-run,需要确认各项制程Window足够,有了制程Window才有电性Window,最後才
有良率Window
3. 制程平台量产
初期Pi-run结束後,到一定量,就会转量产,量产就会专门做制程改善,Inline Cpk改善
,抓commom tool,产能改善...
https://imgur.com/Pl9qP2K
https://imgur.com/Suqou1k
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老实说,制程整合在Fab真的需要蛮长的训练期,1~2年可能都还是新人,做不出什麽贡献
,毕竟初期光是要把制程和电性关系了解,就要花很多时间。所以一开始都在带Lot。
而制程和电性关系了解之後,才可能去调动制程条件,把电性做调整。而这一切的核心其
实还是半导体元件物理,真的建议找本课本,或开放式课程看看。
制程整合在Fab需要接触很多面向,几乎甚麽事情都会变成整合要做Owner
(Ex:
产品Low yield --> 整合找module 讨论root cause
Device Qual不过--> 整合找Q 讨论root cause
Pi-run交期太慢 --> 整合找生管帮忙)
所以整合常常要做沟通桥梁,一边是客户,一边是厂内Module,很需要沟通技巧,合作能
力
而接触面广,有好处也有坏处。整合可能是process懂一点,Model懂一点,Device懂一点
,良率分析懂一点,Qual懂一点...。但反过来说,也是因为什麽都要碰所以也才能与猪
屎屋沟通,所以也有人之後就跳去客户端发展。
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73F:→ godrainbow : 我都想嗨赖他父母查一下他们家小孩到底有什麽问题要 02/02 14:47
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80F:→ bbdd203 : 他们到整合尝试时 却又退缩不说话 各位子都有自己 02/02 15:20
81F:→ bbdd203 : 的苦衷 推文没必要酸酸 02/02 15:20
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90F:推 yuki166618 : 推,优文 02/02 16:02
91F:推 mile022 : 整合很容易可以做出价值 也很多人可以做到人人嫌 02/02 16:02
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93F:推 j821005 : 不懂这些的资深整合到处都是 02/02 16:16
94F:→ j821005 : 看电子学开放课程跟施敏的书就可以了解七八成了吧 02/02 16:17
95F:推 rootAtaabu : 推 02/02 16:24
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97F:推 kerorogunso : 推 清楚明了 02/02 16:28
98F:推 r833123 : 推 多讲一点啊 02/02 16:40
99F:推 soneyoona : 推推 02/02 16:47
100F:推 Stan6003 : 推 02/02 16:55
101F:推 leo255112 : 训练期很长是真的 感觉前三年都还是跟废物没两样 02/02 16:57
102F:推 ass0611ass : 好文推推 02/02 17:08
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107F:推 qwe080969 : 何止两三年 多的是待到5年以上还是跟废物一样 GG分 02/02 18:01
108F:→ qwe080969 : 工太细加上强大的系统 什麽都不懂的人也是可以生存 02/02 18:01
109F:推 homepark : 优文给推 02/02 18:03
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111F:推 jkasc28s : excel ppt 搓汤圆 这三个精通包整合路顺遂 02/02 18:14
112F:推 llltt123 : 整合不是追in-line shift跟pi run 时程麻.......... 02/02 18:25
113F:推 s011045 : 推 02/02 18:55
114F:推 kennetharies: 推 02/02 19:09
115F:推 aj30432000 : 好文好文 02/02 19:15
116F:→ jimmy6247 : 整合是沟通桥梁,但通常整合的桥梁都是断的,跟客户 02/02 19:25
117F:→ jimmy6247 : 起争执、跟制程起争执、跟Q、跟制造部都会起争执, 02/02 19:25
118F:→ jimmy6247 : 上手之前要记得先学会弯腰求人帮做事 02/02 19:25
119F:推 edward851003: 美光的整合大概也是这样吗 02/02 19:25
120F:推 flysonics : 看到这篇 我也想在版上写一些乾货帮助新人了 来准 02/02 19:29
121F:→ flysonics : 备准备 02/02 19:29
122F:嘘 pc0207119 : 可以不要只懂一点就乱开枪吗 02/02 19:36
123F:推 jjfly3360 : 赞! 02/02 19:40
124F:推 contaminate : good 02/02 19:45
125F:推 shao870605 : 推 02/02 19:48
126F:推 Janeee : 推佛心 02/02 19:52
127F:推 tyl : 推,写得浅显易懂! 02/02 19:54
128F:推 tr6271bf : 大推好文,涨知识了。 02/02 19:54
129F:推 luyixiang : 推推 02/02 19:58
130F:推 zch222520 : Low yield这关,鸡巴的客户就杀了不少人 02/02 20:09
131F:推 totalbspark : 不是EE背景的真的要熬一段时间 02/02 20:11
132F:推 mile022 : 板上不是都说EE进整合是头壳装屎 事实上固态组走这 02/02 20:26
133F:→ mile022 : 条路是不错的 02/02 20:26
134F:推 Ryan5678 : 太优质了 02/02 20:27
135F:推 dreamcat0925: 优质推 02/02 20:47
136F:推 mile022 : 後续周遭不少朋友往客户端 甚至foundry marketing 02/02 20:48
137F:→ mile022 : TD工程还有 device 都有 出路广是不可否认的 02/02 20:49
138F:推 littlelinsyu: 浅显易懂 02/02 20:49
139F:推 CCP4 : 推 02/02 20:56
140F:推 Asher077 : 推 02/02 21:08
141F:推 asdg62558 : 推 02/02 21:08
142F:推 bigwhite327 : 可以不要一直造成线上loading吗 02/02 21:19
143F:推 Trulli : 推 02/02 21:21
144F:推 zhangc1010 : 推 02/02 21:21
145F:嘘 mahament : 唬烂喔 low yield不就怪module 就好 02/02 21:41
146F:推 mile022 : 楼上那种心态 出问题也只会怪机台 正常 02/02 22:15
147F:推 winer2794 : 好文 02/02 22:24
148F:→ willko : 推 公司太多87整合 02/02 22:33
149F:推 verming1 : 谢谢分享 02/02 22:41
150F:推 johnny8510 : 推 感谢大大分享! 02/02 22:55
151F:推 wqa98765 : 推 02/02 22:59
152F:推 KasperTW : 待过整合,看完没啥帮助…但推一下 02/02 22:59
153F:推 raya61305 : 写得蛮完整 不过如果完全没做过的也看不懂 02/02 23:08
154F:推 nightben : 推好文 02/02 23:10
155F:推 isco : 整合很缺人齁? 02/02 23:14
156F:推 sqt : 好强,谢谢分享 02/02 23:18
157F:推 TCross2 : 真的强者整合,那些repot 打开妈久都不敢讲话,赶 02/02 23:43
158F:→ TCross2 : 快team敲大小leader一起查case 02/02 23:43
159F:→ TCross2 : 但真的也很多摸鱼整合在那边降低水准,整合真的是上 02/02 23:44
160F:→ TCross2 : 下限很高的职位 02/02 23:44
161F:推 chariot825 : 没看过比这篇更好的文章,谢谢分享 02/02 23:48
162F:推 margaret6376: 推 02/03 00:09
163F:嘘 orange0319 : PEI 嗨赖制程设备,要生报告和挂机限把机台限缩,所 02/03 00:15
164F:→ orange0319 : 以制造部可过机台少堆货产能过不去,又再说这是什麽 02/03 00:15
165F:→ orange0319 : 重要客户还是厂长的LOT要先过,都给你们整合说就饱 02/03 00:15
166F:→ orange0319 : 了啊 02/03 00:15
167F:推 orange0319 : 而且也可能整合关机限的时候不说一声,发现变slow l 02/03 00:21
168F:→ orange0319 : ot才发现被限到没机台可过,要是再搭配Q-time真的不 02/03 00:21
169F:→ orange0319 : 要怪线上整天call out当站整合 02/03 00:21
170F:→ pinkjenny : poly不一定会打imp吧 02/03 00:32
171F:嘘 pinkjenny : 果然不是GG的PID... 02/03 00:35
172F:推 raya61305 : 很明显U带N28的吧 02/03 00:37
173F:推 Sanosuki : 推 02/03 00:50
174F:推 a123457 : 推噢 02/03 00:59
175F:推 lanndydanny : 推 02/03 01:13
176F:推 chyuan86520 : 推 02/03 01:14
177F:推 bolee : 推 02/03 01:34
178F:推 russellluo : 优质 02/03 02:56
179F:推 Cinderella : 其实这篇写得蛮好的 02/03 02:56
180F:推 chinchingwei: 推 02/03 03:42
181F:推 ma430201 : 好文 推推 02/03 04:14
182F:推 adrian2266 : 先推 02/03 06:58
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184F:推 umpwn : 热心推 02/03 07:50
185F:推 skyless : 祝楼主一生平安 02/03 09:00
186F:推 neat875 : 有记忆体整合心得吗 02/03 09:18
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188F:推 kr78963212 : 优质文帮推 02/03 09:31
189F:推 mile022 : T的28也是全段 某人不要自己不知道就这样 02/03 09:48
190F:推 rosty : 推 02/03 09:48
191F:推 seaice : 楼主好人一生平安 02/03 10:58
192F:推 kenscopen : 优质好文 推推 02/03 12:08
193F:推 jeff830603 : 推推 谢谢大大 02/03 12:15
194F:推 kevinfisher : N28的HKMG, PO确实不用打IMP吧 02/03 12:35
195F:推 slg : 整合出路很广的,是个好的工作选择 02/03 12:51
196F:推 LeoPan : 推,感谢分享,一直想往制程整合,但不得其门而入 02/03 12:53
197F:→ trigold0703 : 写报告排版的功力真的很弱,配色差、轻重字不会用、 02/03 13:42
198F:→ trigold0703 : 内容在行内很皮毛,这样要拿去面试只能骗骗外行的 02/03 13:42
199F:→ OAVAYAVAO : 屎缺 02/03 14:04
200F:推 lightwang : 可以 02/03 14:24
201F:推 love913109 : 难得认真文,不是一堆整天想害人进产线的无脑留言 02/03 15:56
202F:推 Toyallol : 推 02/03 19:25
203F:推 mile022 : 楼上某位 报告要能深入浅出 以简介而言很ok 这种公 02/03 19:29
204F:→ mile022 : 开网站总不能放一些制程资料FA吧 又不是想被 到脱 02/03 19:29
205F:→ mile022 : 裤 只能说 他的架构不错 应该也是 待过猪屎屋 02/03 19:30
206F:推 a590910 : 好文 02/03 20:34
207F:推 canallchen : 还在整合?这工作跟制程一样操。楼主一生平安。 02/03 20:47
208F:推 tedchen1025 : 整合是半导体职涯不错的开始... 02/03 21:03
209F:推 lincecumli : 大推 02/03 21:42
210F:推 sheepxo : 推 02/03 22:11
211F:推 Janissary : 推一个 02/03 23:43
212F:推 sandy9520 : 推 02/03 23:45
213F:推 spectre07 : 推 02/04 00:37
214F:嘘 si5111 : PID可以自己先查一下再HL吗 02/04 02:29
215F:推 ccworker : 有时候Highlight 不见得是坏事... 02/04 05:21
216F:→ ccworker : 多年前Highlight 某module 它们做得可起劲了 02/04 05:21
217F:→ ccworker : 我也顺水推舟都让他去Update进度跟结果 02/04 05:22
218F:→ ccworker : (某些机台/module很难得可以搞出有能见度的CIP) 02/04 05:23
219F:推 antyallen : 推。虽然很粗浅,但版上应该没几个人有耐心打出这 02/04 08:41
220F:→ antyallen : 些文字!谢谢! 02/04 08:41
221F:推 jiawhat11 : 推 02/04 08:53
222F:推 MrRedHair : Please 不want再Chinese英mix了 02/04 09:58
223F:推 rubio123200 : 同为整合人 推 02/04 10:27
224F:推 dn91hde38b : 推 02/04 11:25
225F:推 aocboy : 好专业,非理组的看不懂,但是可以学知识,感恩 02/04 14:56
226F:推 cory298 : 推,谢谢分享 02/04 15:40
227F:推 fuwai : 上面挑毛病的, 也可以自己分享一篇 02/04 20:30
228F:推 Armuu : 好文 02/04 20:59
229F:推 Lindeman5566: 这就是为啥猪屎屋比较爱收PIE不爱收PE和EE 02/04 21:22
230F:推 z515026 : 你不知道大间整合是 带货 HL 而已吗? 你不要自己露 02/05 01:59
231F:→ z515026 : 馅在二四线厂的行为齁 02/05 01:59
232F:→ Lindeman5566: 带货HL优先收PIE没错啊? 有逻辑冲突吗 = =? 02/05 02:46
233F:推 hungyi309 : 详细给推 02/05 11:14
234F:推 aegis91086 : 推 02/05 14:24
235F:推 aka8763 : 推 02/05 14:25
236F:推 Satansblessi: 推好文 02/07 01:31
237F:推 a40006 : 推 02/07 10:14
238F:嘘 zz740324 : 整合不就是lot出问题去co机台谁比例最高就打谁吗 02/08 12:55
239F:推 a991235137 : 推好文 02/08 16:54