作者mark183 (mark)
看板Tech_Job
標題[請益] 何謂 MEMS PIQ release
時間Fri Jun 25 15:30:04 2021
請問因為最近要做簡報,看到MEMS PIQ release,一直查不到這到底是什麼意思,我知道DRIE,但MEMS PIQ release不知道是什麼,中英文的全名叫什麼呢?算製程嗎?跟各位前輩請益,謝謝!
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1F:推 XoPXoP : good 06/25 15:39
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4F:→ wellkom : RTFD 06/25 15:50
5F:→ Shellingford: 請拿去餵狗就知道了 06/25 15:51
6F:→ wellkom : 已幫你轉寄給HR,他們會編入下一版新人 survival kit 06/25 15:51
7F:推 jackie0825 : STFU 06/25 16:14
8F:→ h7705060 : 通常MEMS都有一些空腔結構在製作過程中會用PIQ當作 06/25 16:23
9F:→ h7705060 : 結構支撐但是你做完了要把PIQ吃掉只保留MEMS結構這 06/25 16:23
10F:→ h7705060 : 個步驟就叫做PIQ release 通常用wet or dry etch 06/25 16:23
11F:→ mark183 : 謝謝h7705060大大! 06/25 16:41