作者mark183 (mark)
看板Tech_Job
标题[请益] 何谓 MEMS PIQ release
时间Fri Jun 25 15:30:04 2021
请问因为最近要做简报,看到MEMS PIQ release,一直查不到这到底是什麽意思,我知道DRIE,但MEMS PIQ release不知道是什麽,中英文的全名叫什麽呢?算制程吗?跟各位前辈请益,谢谢!
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 223.141.224.156 (台湾)
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/Tech_Job/M.1624606206.A.CE8.html
1F:推 XoPXoP : good 06/25 15:39
2F:→ YJM1106 : TBH,IDK 06/25 15:46
3F:→ newfolder : LMAO 06/25 15:49
4F:→ wellkom : RTFD 06/25 15:50
5F:→ Shellingford: 请拿去喂狗就知道了 06/25 15:51
6F:→ wellkom : 已帮你转寄给HR,他们会编入下一版新人 survival kit 06/25 15:51
7F:推 jackie0825 : STFU 06/25 16:14
8F:→ h7705060 : 通常MEMS都有一些空腔结构在制作过程中会用PIQ当作 06/25 16:23
9F:→ h7705060 : 结构支撑但是你做完了要把PIQ吃掉只保留MEMS结构这 06/25 16:23
10F:→ h7705060 : 个步骤就叫做PIQ release 通常用wet or dry etch 06/25 16:23
11F:→ mark183 : 谢谢h7705060大大! 06/25 16:41